目錄:北京精科智創科技發展有限公司>>半導體材料測試儀>>探針臺>> GDWT-480型全自動型高低溫真空探針臺
應用領域 | 電子,冶金,航天,電氣 |
---|
GDWT-480型全自動型高低溫真空探針臺
關鍵詞:高低溫探針臺,半導體,光電,吉時利
GDWT-480型全自動型高低溫真空探針臺主要應用于I-V/C-V,PIV測試,傳感器,半導體,光電,集成電路以及封裝的測試。 廣泛應用于復雜、高速器件的精密電子樣品測量的研發,旨在確保質量及可靠性,并縮減研發時間和器件制造工藝的成本,可以配合Keithley,Tektronix等國內外各種源表對材料進行測試,可以做材料的介電,鐵電等測試,是目前高等院校和研究所及材料生產單位的重要輔助設備。
GDWT-480型自動型真空高低溫探針臺該探針臺尺寸高達59x59MM,不銹鋼臺面設計,可以達到高溫350℃。在真空方面采用真空腔體設計,具備進氣口和抽真空接口,三軸移動探針臂保證X/Y/Z三個方向均可在真空環境下精密移位調節,用戶可根據需要自行調節。使用時將需檢測的器件固定在加熱臺上,再微調探針支架X/Y/Z 方向行程,通過顯微鏡觀察,使探針對準檢測點后,即可進行檢測.
主要特點:
1、溫度可以從-190℃-350℃
2、探針不需要打算開觀察窗口,可以通過X/Y/Z三軸移動調節探針,
3、可以配真空,氣氛等多種功能。
4、三軸調節范圍:其中X方向0-28mm;y方向調節范圍:0-18mm;z方向調節范圍:0-18mm;
主要技術參數:
真空腔體 | |
整內腔體尺寸 | φ160x90mm(標準) |
觀察窗尺寸 | Φ70mm |
樣品臺尺寸 | Φ60mm |
觀察窗熱臺間距 | 74mm |
加熱臺溫度 | -190-350℃ |
加熱臺溫控精度 | ±1℃ |
真空度 | 機械泵≤10Pa 分子泵≤10-5Pa |
電信號接頭 | SMA轉BNC X 4 |
電學性能 | 絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質耐壓 ≤500V |
探針數量 | 4探針 |
探針材質 | 鎢針 |
探針尖 | 10μm(其他多種可選)0.5微米/1微米/2微米/5微米//20微米 |
制冷 | 液氮/液氦/制冷機 |
探針移動平臺 | |
X-Y-Z移動行程 | 30mm*25mm *25mm |
結構 | 真空波紋管結構,精密三軸控制探針 |
精度 | ≤0.01mm |
漏電精度 | 10pA,100fA,10fA |
接頭類型 | BNC/三軸/鱷魚夾/香蕉頭/接線端子 |
頻率支持 | DC-67GHZ |
針尖直徑 | 0.5微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米 |
電子顯微鏡 | |
顯微鏡類別 | 物鏡(可以選配) |
物鏡倍數 | 0.6-5.0倍(可以根據客戶要求進行選配) |
工作間距 | 85mm |
相機 | sony 高清 |
像素 | 200萬/500萬/1200萬 |
圖像接口 | VGA |
LED可調光源 | 有 |
顯示屏 | 9寸 |
放大倍數 | 19-135倍,視場范圍15×13-2.25×1.7mm,最小可分辨0.08mm |
可選附件 | |
光學平臺 | |
屏蔽箱 | |
光電測試配件 | |
高壓測試配件 | |
激光系統 | |
氣敏測試系統 |