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安賽斯（中國）有限公司

產品特色

?  設計緊湊，可輕松放置在手套箱內使用；

?  HDPE高分子材料旋涂內腔，耐腐蝕；采用分體式結構，易清潔和移動；

?  4.3英寸彩色觸屏控制，易學易用；精確設置實驗參數，運行狀態實時顯示；

?  經CNC一體加工成型的HDPE內腔，內腔壁采用特殊的凹面設計，有效防濺；

?  采用高級PLC程序控制，可編程，實現快速旋涂和多步編程旋涂；

?  具有電機進膠保護功能；管路易疏通設計；具有真空不足提示及保護功能，具有斷電后參數自動保存功能。

?  可設置用戶密碼保護功能；

?  不銹鋼外殼，美觀耐腐蝕。

?  帶真空度安全互鎖檢測功能；帶一路自動點膠接口，可升級自動點膠系統；

性能參數

?  適用晶元尺寸范圍：? 5~150mm；

?  旋涂速度：100~12000rpm；轉速分辨率：1rpm；

?  旋涂加速度：100-30000rpm/s；

?  最大旋涂時間：3000s；旋涂時間精度：0.1s；

?  內腔直徑212mm，內腔采用特殊的凹面防濺設計；

?  具備單步快速旋涂和多步編程旋涂，可編程100組程序，每組程序10步；

?  電源輸入：AC200-230

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