當(dāng)前位置:努美(北京)科技有限公司>>光學(xué)平臺>>空氣隔振器(OEM)>> PEPS IITMC主動(dòng)空氣隔振調(diào)平系統(tǒng)
TMC主動(dòng)空氣隔振調(diào)平系統(tǒng)PEPS II
PEPS II建立在TMC的*利PEPS(精密電子定位系統(tǒng))基礎(chǔ)上并對其進(jìn)行了改進(jìn)。通過添加新的數(shù)字控制器,PEPS II更易于使用,提供了更多功能,還有一個(gè)改進(jìn)的用戶界面。PEPS II是一種用于TMC氣動(dòng)隔振系統(tǒng)的數(shù)字非接觸式高度控制系統(tǒng)。這種系統(tǒng)通常包括機(jī)械高度閥和機(jī)械高度傳感連桿。其應(yīng)用包括需要改善穩(wěn)定時(shí)間和提高產(chǎn)量的半導(dǎo)體制造設(shè)備以及需要最佳噪聲性能和平臺穩(wěn)定性的精密實(shí)驗(yàn)室環(huán)境。
TMC主動(dòng)空氣隔振調(diào)平系統(tǒng)PEPS II特點(diǎn)
●數(shù)字控制,用戶友好的LCD界面
●用于Gimbal Piston、CSP和MaxDamp隔振系統(tǒng)的非接觸式電動(dòng)氣動(dòng)高度控制
●Z軸位置重現(xiàn)性:10微米
●由于消除了傳統(tǒng)機(jī)械高度控制系統(tǒng)的杠桿接觸點(diǎn),從而改善了隔振效果
●氣動(dòng)前饋功能最大限度地減少了Z軸對X-Y平臺運(yùn)動(dòng)的反應(yīng)
●可以調(diào)整以快速穩(wěn)定由X-Y平臺引起的運(yùn)動(dòng)
●可選的“VX"功能集成了慣性傳感器,用于主動(dòng)阻尼垂直隔振器共振
●與“軟塢站"兼容。允許在沒有運(yùn)動(dòng)安裝的情況下加載/卸載晶圓
●相稱的電子閥門。“開關(guān)"或傳統(tǒng)電子閥不會產(chǎn)生脈沖噪聲
●排氣管用于廢氣的清潔處理
●邏輯停靠控制和狀態(tài)
規(guī)格
物理尺寸 | PEPS II控制器 1.72英寸(43.7mm)高 x 8.0英寸(203mm)寬 x 9.4英寸(240 mm)深 | |
重量 | PEPS II控制器:約3.0磅(1.2千克) | |
環(huán)境 | 僅限室內(nèi)使用,最高2,000米海拔(6560英尺) | |
電源要求 | 電源輸入電壓范圍:90-230 VAC | |
PEPS II用戶界面 | 電源開關(guān) | |
PEPS II 界面 | 帶EMI濾波器的交流電源輸入 | |
PEPS II | 模擬輸入(單極):8 x 12位(16位使用過采樣),0 ... 3.0 V滿量程 | |
氣動(dòng)規(guī)格 | 長期高度穩(wěn)定性:±50微米 |
性能