德國PI P-733.2 XY壓電陶瓷納米定位器
:PI(Physik Instrumente)
公司簡介:
德國PI公司是運動和定位領域的解決方案供應商。
PI不僅開發(fā)和生產(chǎn)各種定位平臺和執(zhí)行器,用于線性,旋轉和垂直運動或不同軸的組合。
具有孔徑的高精度XY掃描儀
P-733.2 XY壓電陶瓷納米定位器
§ X和Y向上的行程達100微米×100微米
§ 電容式傳感器使分辨率達0.1納米
§ 帶直接驅動器的高速版本
§ 可提供真空兼容和非磁性版本
§ 并聯(lián)運動實現(xiàn)更高精度和動態(tài)
§ 導向誤差主動補償?shù)牟⑿杏嬃?/span>
§ 零間隙,高精度柔性鉸鏈導向系統(tǒng)
§ 50毫米×50毫米的通光孔徑用于透射光 應用
PICMA壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽命
的PICMA壓電陶瓷促動器為全瓷絕緣。這可以防潮,避免漏電流增大造成故障。PICMA促動器的使用壽命比傳統(tǒng) 的聚合物絕緣促動器長達十倍。它們被證明可實現(xiàn)*運行1000億個循環(huán)。
帶電容式傳感器,實現(xiàn)亞納米分辨率
電容式傳感器以亞納米分辨率進行測量,且無接觸。它們可確保優(yōu)異的運動線性、長期穩(wěn)定性和千赫茲范圍的帶寬。
零間隙柔性鉸鏈導向帶來高導向精度
柔性鉸鏈導向無需維護、無摩擦、無磨損,無需潤滑。它們的剛性可實現(xiàn)高負載能力,且它們對chong擊和振動不敏感。 它們*真空兼容,可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。
自動配置和快速部件更換
機械部件和控制器可按需組合、快速更換。所有伺服和線性化參數(shù)均存儲在機械部件的SubD連接器的ID芯片中。每當控制器啟動時,數(shù)字控制器的自動校準功能就會使用這些數(shù)據(jù)。
直接位置測量帶來大精度
運動直接在運動平臺上測量,*不受驅動或導向元件的影響。這樣可以實現(xiàn)jia的重復精度、優(yōu)異的穩(wěn)定性和剛性 、快速響應控制。
并聯(lián)運動實現(xiàn)高動態(tài)多軸操作
在并聯(lián)多軸系統(tǒng)中,所有促動器作用于同一個運動平臺。所有軸具有小的質(zhì)量慣性和相同的設計,可實現(xiàn)快速、動 態(tài)和精密的運動。
適用于復雜真空應用
壓電陶瓷系統(tǒng)中使用的所有部件均非常適合于在真空中使用。操作無需潤滑劑或潤滑脂。無聚合物的壓電陶瓷系統(tǒng)可 實現(xiàn)極低的排氣率。
訂購信息
帶直接驅動器
P-733.2DD 高動態(tài)精密XY向納米定位系統(tǒng),30 微米 × 30 微米,直接驅動,電容傳感器,平行計量,Sub-D連接器
帶Sub-D連接器(公頭)的版本
P-733.2CD 精密XY向納米定位系統(tǒng),100 微米 × 100 微米,電容傳感器,平行計量,Sub-D連接器
帶LEMO連接器的版本
P-733.2CL 精密XY向納米定位系統(tǒng),100 微米 × 100 微米,電容傳感器,平行計量,LEMO連接器
配件
P-733.AP1 接裝板用于將P-733 壓電工作臺安裝在M-545 XY位移平臺上
線性定位器,真空兼容達10-9百帕
P-733.2VL 精密XY向納米定位系統(tǒng),100微米 × 100微米,電容傳感器,平行計量,LEMO連接器,真空兼容至10-6百帕
P-733.2VD 精密XY向納米定位系統(tǒng),100微米 × 100微米,電容傳感器,平行計量,Sub-D連接器,真空兼容至10-6百帕
P-733.2UD 精密XY向納米定位系統(tǒng),100微米 × 100微米,電容傳感器,平行計量,Sub-D連接器,真空兼容至10-9百帕
德國PI P-733.2 XY壓電陶瓷納米定位器