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近年來，X熒光光譜儀在各行業應用范圍不斷拓展，已廣泛應用于冶金、地質、有色、建材、商檢、環保、衛生等各個領域，特別是在RoHS檢測領域應用的為廣泛。用于測定周期表中多達83個元素所組成的各種形式和性質的導體或非導體固體材料，其中典型的樣品有玻璃、塑料、金屬、礦石、耐火材料、水泥和地質物料等。凡是能和X射線發生激烈作用的樣品都不能分析，而要分析的樣品必須經受在真空環境下測定，與其他分析技術相比，具有分析速度快，穩定性和精密度好以及動態范圍寬等優點。在測定中不會引起化學狀態的改變，也不會出現試樣飛散現象。同一試樣可反復多次測量，結果重現性好。制樣簡單，固體、粉末、液體樣品等都可以進行分析。
X熒光光譜儀測試時如何建立標準樣品？
1、根據用戶需要，不斷擴充標準樣品種類，并對應材料使用者進行對應的物料編號或使用用戶編號，使操作員能使用對應的標準曲線進行該類材料的檢測。
2、同類別的材料再按其基材和主要組份分類。
3、確認歸一化的材料的組份差別控制在可容許范圍內，并確認其中應無影響譜線的不確定特征干擾元素出現，或者按照供應商進行分類。
4、先將用戶要檢測的樣品材料進行分類，將不同材質的樣品分成不同類別。
5、在1-4步基礎上(用戶可根據自己需要的度和可操作性選擇進行到那一步)后細分的類別，使用ICP_OES和GC_MS等儀器對其中的主要組份、相關組分和待測組分進行定量分析。并根據待測組分的含量情況可以人為添加一定量的待測元素，為了添加的元素的狀態穩定，應盡量添加其穩態化合物。以此建立給分類材料的標準樣品，并使用該標準樣品在X射線熒光光譜儀上建立標準曲線。
6、同基材的材料按照其主要組份進行歸一化分類。
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