無鹵檢測儀目前XRF在氯的測試結果判定方面沒有一個專門的標準來執行，而鹵素標準與rohs標準之間有很大的關聯，執行rohs標準的時候對結果的判定是參考IEC62321文件來執行的，所以目前大部分XRF廠商對于Cl的結果的判定也是參考IEC62321文件執行，以下節選自IEC62321文件里面各元素的檢測結果的判斷方法。

  無鹵檢測儀各種類型的XRF光譜儀單獨使用，分析方法允許使用者把樣品歸納為以下三類的其中一類：
a)       “合格”－ 如果對所有的元素定量分析的結果全部小于表2所列的低限值，樣品經過測試為合格。
b)      “不合格”－ 如全部高于表2所列的高限值，樣品經過測試為不合格。
c)       “未決定”－ 如果對Hg、Pb或者Cd其中任何一種的元素定量分析的結果處于中間區域或者元素Br和Cr的結果高于表2所列的高限值，分析結果為未做決定。還必須要進行進一步的研究。這個檢測是“未決定”。
表2：各種基材中受限元素的篩選限值，單位（mg/kg）
元素 聚合物材料 金屬材料 電子元件 
Cd P≤（70－3σ）<X <（130＋3σ）≤F P≤（70－3σ）<X <（130＋3σ）≤F LOD≤X <（250＋3σ）≤F 
Pb P≤（700－3σ）<X <（1300＋3σ）≤F P≤（700－3σ）<X <（1300＋3σ）≤F P≤（500－3σ）<X <（1500＋3σ）≤F 
Hg P≤（700－3σ）<X <（1300＋3σ）≤F P≤（700－3σ）<X <（1300＋3σ）≤F P≤（500－3σ）<X <（500＋3σ）≤F 
Br P≤（300－3σ）<X 
 P≤（250－3σ）<X 
Cr P≤（700－3σ）<X P≤（700－3σ）<X P≤（500－3σ）<X 
     篩選限值已列于表2中。普通法定的對受關注物質的限值已經受到了相關的評估，但對此方法“執行的水平”已經為篩選過程定了容許30％（50％對于電子元件）安全極限值的偏差，這樣合格（P）或者不合格（F）的決定將會分別設定為少于和多于30％（50對于電子元件）的法定限值。極限值得到了很多做實驗的和工廠的實踐人員的贊同。“X”符號表示這樣一個區域，在這個區域中的數值還需要進一步的研究。
     因此天瑞公司對于Cl元素的結果的判斷也是參考此文件得出如下的判斷方法。

元素 聚合物材料 金屬材料 電子元件 
Cl P≤（70－3σ）<X <（130＋3σ）≤F