高純氣體是指純度極高的氣體，通常指除主要成分以外，其他雜質含量非常低甚至達到可忽略的程度。由于高純氣體在半導體制造、光纖通信、醫療設備、激光技術等領域中起著至關重要的作用，因此對其純度的要求極高，通常要求雜質濃度在ppm（百萬分之一）甚至ppb（十億分之一）級別以下。

高純氣體分析色譜（High Purity Gas Analysis Chromatography）是一種用于分析和測量高純氣體中痕量雜質濃度的色譜技術。為了獲得準確可靠的分析結果，進行高純氣體分析色譜時需要注意以下幾點：
1、選擇合適的色譜柱和檢測器，確保它們對目標雜質具有足夠的靈敏度和選擇性。
2、定期對色譜系統進行校準和維護，確保系統性能穩定可靠。
3、嚴格控制樣品處理過程，避免引入新的雜質或干擾成分。
4、對分析結果進行驗證和比對，確保結果的準確性和可靠性。

GC-9560-HG高純氣體分析色譜儀適用于高純氫、氧、氬、氮、氦、氖、氪、氙、二氧化碳等氣體中痕量雜質的檢測，儀器配備高靈敏度的氦離子化（PDHID）檢測器，采用中心切割與反吹技術，配置具有吹掃保護氣路的進樣切換閥和進口氦氣純化器，通過無死體積取樣或在線進樣方式，一次性完成上述高純氣體中H2、O2（Ar）、N2、CH4、CO、CO2等常見雜質或C1-C4等碳氫化合物的檢測，檢測限達ppb級，重復性RSD≤1％。