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當前位置：上海華愛色譜分析技術有限公司>>氣體分析>>電子氣>> GC-9560-PDD含氟電子氣分析用氦離子色譜儀
含氟電子氣分析用氦離子色譜儀適用電子工業用氣體中痕量雜質的檢測，小檢測濃度可達5ppb。儀器配備高靈敏的氦離子化檢測器，采用華愛公司的中心切割技術，進樣閥均帶有吹掃保護氣路；整機采用多柱箱設計，并配備進樣壓力自動校正系統，不同底氣的樣品的進樣量。產品先后榮獲上海市成果轉化*項目。
氟的技術指標：
| 項目 | 指標 | |
| 氟（F2）（體積分數）/10-2 | ≥ | 99 |
| 氧（O2）+氮（N2）（體積分數）（N2）/10-2 | ≤ | 0.45 |
| 四氟化碳（CF4）（體積分數）/10-2 | ≤ | 0.05 |
| 氟化氫（HF）（體積分數）/10-2 | ≤ | 0.5 |
氟氮混合氣的技術指標：
| 項目 | 指標 | |
| 氟（F2）（體積分數）/10-2 | 20 | |
| 氮（N2）（體積分數）（N2）/10-2 | 80 | |
| 氧（O2）（體積分數）（N2）/10-2 | ≤ | 0.08 |
| 四氟化碳（CF4）（體積分數）/10-2 | ≤ | 0.03 |
