在日立高新的新型冷場發射掃描電鏡(FE-SEM)SU8200系列中，有SU8220、SU8230、SU8240三款機型，于5月20日開始發售。

日立高新的新型冷場發射掃描電鏡(FE-SEM)主要特點: 

日立高新新研發的冷場電子槍

•利用電子槍轟擊后的高亮度穩定期，高分辨觀察和分析兼顧

•大幅提高分辨率(1.1nm/1kV、0.8nm/15kV)

•減輕污染的高真空樣品倉

•通過頂部過濾器(選配項)實現多種材料對比度可視化

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