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熱分析儀檢測設(shè)備主要是測量熱物性值中熱滲透率的一種設(shè)備，可以進(jìn)行微小領(lǐng)域（微米等級(jí)）、納米薄膜、Sic（單晶體、多晶體）、AIN等的測量。熱分析儀檢測設(shè)備利用激光對(duì)樣品進(jìn)行調(diào)制循環(huán)加熱、通過紅外線放射量的變化，將樣品內(nèi)部異常部分的檢測或不均勻性的熱特性可視化。內(nèi)載紅外宏觀光學(xué)系照相機(jī)，可高倍率觀察。并且，使用樣品加熱器的熱傳播檢查和簡易溫度測量都可以進(jìn)行。

熱分析儀檢測設(shè)備測量原理：樣品上鍍金屬薄膜，再通過光加熱式熱反射法。金屬的反射率有隨表面溫度變化的特性，所以通過捕捉加熱用激光和同軸的照射的檢測用激光的強(qiáng)度變化來測量表面相對(duì)的溫度變化。熱量從金屬薄膜傳到樣品，表面溫度響應(yīng)產(chǎn)生位相延遲，該位相延遲會(huì)跟隨熱的特性而變化。通過測量此加熱光和檢測光的位相延遲得出熱滲透率。

熱分析儀檢測設(shè)備特點(diǎn)

1.熱分析儀熱物理性顯微鏡是測量熱物性值中熱滲透率的一種設(shè)備；

2.熱分析儀檢測設(shè)備可以通過點(diǎn)、線、面測量樣品的熱物性；

3.該設(shè)備可以測量以往難以測量的微米等級(jí)的熱物性值的分布；

4.非接觸方式且高分辨率的熱物性測量設(shè)備；

5.檢測光spot直徑3μm、高分辨率來測量微小領(lǐng)域的熱物性（點(diǎn)、線、面  測量）；

6.因?yàn)榭筛淖兩疃确秶鷣頊y量，所以從薄膜、多層膜到散裝材料都可測量；

7. 基板上的樣品也可測量；

8. 熱分析儀激光非接觸式測量；

9.可檢測薄膜下的裂紋、孔隙、脫落等問題。