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高速微納加工是啥

閱讀:447        發(fā)布時間:2023/7/7
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  一、納米壓印技術(shù)是一種新型的微納加工技術(shù)。該技術(shù)通過機械轉(zhuǎn)移的手段,達(dá)到了超高的分辨率,有望在未來取代傳統(tǒng)光刻技術(shù),成為微電子、材料領(lǐng)域的重要加工手段。
 
  二、納米壓印技術(shù),是通過光刻膠輔助,將模板上的微納結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)移到待加工材料上的技術(shù)。報道的加工精度已經(jīng)達(dá)到2納米,超過了傳統(tǒng)光刻技術(shù)達(dá)到的分辨率。
 
  三、過程:
 
  第一步是模板的加工。一般使用電子束刻蝕等手段,在硅或其他襯底上加工出所需要的結(jié)構(gòu)作為模板。由于電子的衍射極限遠(yuǎn)小于光子,因此可以達(dá)到遠(yuǎn)高于光刻的分辨率。
 
  第二步是圖樣的轉(zhuǎn)移。在待加工的材料表面涂上光刻膠,然后將模板壓在其表面,采用加壓的方式使圖案轉(zhuǎn)移到光刻膠上。注意光刻膠不能被全部去除,防止模板與材料直接接觸,損壞模板。
 
  第三步是襯底的加工。用紫外光使光刻膠固化,移開模板后,用刻蝕液將上一步未去除的光刻膠刻蝕掉,露出待加工材料表面,然后使用化學(xué)刻蝕的方法進(jìn)行加工,完成后去除全部光刻膠,最終得到高精度加工的材料。
 
  四、優(yōu)勢特點:由于納米壓印技術(shù)的加工過程不使用可見光或紫外光加工圖案,而是使用機械手段進(jìn)行圖案轉(zhuǎn)移,這種方法能達(dá)到很高的分辨率。報道的最高分辨率可達(dá)2納米。此外,模板可以反復(fù)使用,無疑大大降低了加工成本,也有效縮短了加工時間。因此,納米壓印技術(shù)具有超高分辨率、易量產(chǎn)、低成本、一致性高的技術(shù)優(yōu)點,被認(rèn)為是一種有望代替現(xiàn)有光刻技術(shù)的加工手段。

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