AR膜缺陷檢測系統(tǒng)是用于玻璃基板防反射涂層的缺陷檢查設備。 用倒置顯微鏡和線型攝像機對透明基板的表面和背面進行高速掃描和檢測，并顯示檢測結(jié)果。
 

AR膜缺陷檢測系統(tǒng)特點和功能 
1.目標基板 大400mm，透明基板自動對焦檢測。
2.檢測缺陷：AR膠片基板上的白色異物（缺失）或黑色異物，檢測分辨率2.8μm（1.4μm）。
3.遠程控制復核檢查， 攝像機/照明/物鏡變化/舞臺和焦點。
緊湊的設計，采用倒置光學系統(tǒng)，高性能的線相機和復查相機檢測。
檢驗艙門升起，將板子放在支架上進行高速清潔檢驗。 配有水平FFU
 

AR膜缺陷檢測系統(tǒng)性能

正常模式：5倍，分辨率2.8μm，檢測面/寬度3mm×80mm/秒+α。
高性能模式：10倍，分辨率1.4μm：檢測面/寬度1.5mm×40mm/秒+α。
另有標記功能