日本特許機(jī)器tokkyokiki臺(tái)式主動(dòng)隔振臺(tái)TA

一種不需要空氣的小型主動(dòng)隔振器。從低頻到高頻都具有優(yōu)良的隔振性能。

特征

• 在垂直方向 (Z)、水平 2 個(gè)方向 (X, Y) 和每個(gè)旋轉(zhuǎn)方向上激活 6 個(gè)自由度的控件。
• 無(wú)論安裝設(shè)備的重量（平均負(fù)載 0 至 100 kg）和重心位置如何，都可以發(fā)揮穩(wěn)定的隔振效果。
• 配備自動(dòng)調(diào)平機(jī)構(gòu)，可在啟動(dòng)時(shí)檢測(cè)車載設(shè)備的重心位置，并自動(dòng)調(diào)整最佳控制平衡。
• 消除可能產(chǎn)生灰塵的部件并支持無(wú)塵室的使用。
• 面板采用VFD（真空熒光顯示器），視角廣，容易看清。此外，它還具有光源開(kāi)/關(guān)功能，可在暗室中使用。

用途

• AFM（原子力顯微鏡）、SPM（掃描探針顯微鏡）。
• 激光顯微鏡，激光干涉儀。
• 顯微硬度計(jì)。
• 其他各種精密精密測(cè)量?jī)x器。

日本特許機(jī)器tokkyokiki臺(tái)式主動(dòng)隔振臺(tái)TA

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