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[供應(yīng)]NS200臺階儀測試薄膜厚度 返回列表頁
貨物所在地:廣東深圳市
產(chǎn)地:學(xué)苑大道1001號南山智園B1
更新時間:2024-12-15 21:00:07
有效期:2024年12月15日 -- 2025年6月15日
已獲點擊:25
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NS系列臺階儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀,臺階儀測試薄膜厚度采用LVDC電容傳感器,具有的亞埃級分辨率和超微測力等特點使得其在ITO導(dǎo)電薄膜厚度的測量上具有很強的優(yōu)勢。
臺階儀測試薄膜厚度功能:
1)結(jié)合了360°旋轉(zhuǎn)臺的全電動載物臺,能夠快速定位到測量標志位;
2)對于批量樣件,提供自定義多區(qū)域測量功能,實現(xiàn)一鍵多點位測量;
3)提供SPC統(tǒng)計分析功能,直觀分析測量數(shù)值變化趨勢;
臺階儀可以對微米和納米結(jié)構(gòu)進行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量。它對測量工件的表面反光特性、材料種類、材料硬度都沒有特別要求,樣品適應(yīng)面廣,數(shù)據(jù)復(fù)現(xiàn)性高、測量穩(wěn)定、便捷、高效,是微觀表面測量中使用非常廣泛的微納樣品測量手段。
1.重復(fù)性和再現(xiàn)性,滿足被測件測量精度要求
線性可變差動電容傳感器(LVDC),具有亞埃級分辨率,13um量程下可達0.01埃。高信噪比和低線性誤差,使得產(chǎn)品能夠掃描到幾納米至幾百微米臺階的形貌特征。
2.超微力恒力傳感器:(1-50)mg可調(diào)
測力恒定可調(diào),以適應(yīng)硬質(zhì)或軟質(zhì)材料表面。超低慣量設(shè)計和微小電磁力控制,實現(xiàn)無接觸損傷的精準接觸式測量。
3.超平掃描平臺
系統(tǒng)配有超高直線度導(dǎo)軌,杜絕運動中的細微抖動,提高掃描精度,真實反映工件微小形貌。
4.頂視光學(xué)導(dǎo)航系統(tǒng),5MP超高分辨率彩色相機
5.全自動XY載物臺, Z軸自動升降、360°全自動θ轉(zhuǎn)臺
6.強大的數(shù)據(jù)采集和分析系統(tǒng)
臺階儀軟件包含多個模塊,為對不同被測件的高度測量及分析評價提供充分支持。
型號 | NS200 |
測量技術(shù) | 探針式表面輪廓測量技術(shù) |
探針傳感器 | 超低慣量,LVDC傳感器 |
平臺移動范圍X/Y | 電動X/Y(150mm*150mm)(可手動校平) |
樣品R-θ載物臺 | 電動,360°連續(xù)旋轉(zhuǎn) |
單次掃描長度 | 55mm |
樣品厚度 | 50mm |
載物臺晶圓尺寸 | 150mm(6吋),200mm(8吋) |
尺寸(L×W×H)mm | 640*626*534 |
重量 | 40kg |
儀器電源 | 100-240 VAC,50/60 Hz,200W |
相對濕度:濕度 (無凝結(jié))30-40% RH
溫度:16-25℃ (每小時溫度變化小于2℃)
地面振動:6.35μm/s(1-100Hz)
音頻噪音:≤80dB
空氣層流:≤0.508 m/s(向下流動)
如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。
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