在熱式質量流量計技術領域，青島芯笙微納電子科技有限公司以其研發實力和創新能力，再次展現了其行業的地位。近日，該公司近期在毛細管式熱式流量計的安裝方式敏感性研究方面取得了重要進展，在實際應用中，青島芯笙微納的毛細管熱式流量計展現出了良好的性能。特別是在安裝方式敏感性方面，該公司通過深入研究和測試，成功解決了行業在水平安裝和垂直安裝時存在的精度偏差和零漂問題。這一技術突破不僅提高了產品的穩定性和可靠性，更為客戶提供了更加靈活和便捷的安裝選擇，進一步鞏固了其在高精度流量測量技術方面的地位。
毛細管式熱式流量計對安裝方式敏感性研究
毛細管熱式流量計是基于托馬斯熱效應原理，通過檢測氣體分子搬運熱量的能力來對氣體流量實現高精度檢測。該技術最早由美國Brooks公司提出，并用于航天器推進系統，后逐步用于半導體、真空鍍膜、液晶面板、材料制備等領域。其具體結構如下圖1所示，金屬毛細管尺寸內徑一般在0.2～0.4mm左右、外徑尺寸在0.3～0.5mm左右，通過在上面纏繞兩組電阻絲進行加熱和檢溫，從而實現對氣體流量的檢測。該器件具有敏感度高、壓力敏感度低、耐酸堿腐蝕等特點，使其逐步成為高純氣體的主流計量技術。
圖1：毛細管流量傳感器示意圖
實際使用中，安裝方式可能存在各種可能性，部分毛細管流量計產品對安裝位置敏感，例如水平安裝和垂直安裝時存在精度偏差，甚至是零漂，原因在于水平安裝和垂直安裝時氣體分子重力作用效果不同，當垂直安裝時，氣體分子在加熱區密度低、自由程大、活動劇烈，與非加熱區分子會產生除正常氣體流動之外的熱交換，如圖2所示。簡單來說就是內部氣體會由于熱場不均勻時產生氣體“翻滾"，導致毛細管傳感器信號除了氣體流道導致的熱交換外，還有一部分干擾信號來自于重力和密度不均勻導致的氣體流動。這一誤差與毛細管尺寸相關性很高，當毛細管直徑縮小到0.3mm時，其誤差可以忽略，其平均精度偏差約為0.2%，且全量程范圍內的誤差均在規格要求內（0～20%FS, Error <0.3%FS；20～100%, Error <1%RD）。具體測試結果，如圖3和圖4所示：
圖2：毛細管垂直安裝和水平安裝時垂直安裝時熱場分布對比。
圖3：安裝方式時熱場分布對比。
圖4：芯笙S700毛細管式流量計的安裝方式敏感性測試結果。
青島芯笙微納：持續創新，推動行業發展
青島芯笙微納電子科技有限公司始終致力于技術創新和產品升級。公司擁有一支由行業專家和資深工程師組成的研發團隊，不斷攻克技術難題，為用戶提供更加精準、可靠的流量計量解決方案。
此次發布的研究成果，不僅展示了青島芯笙微納電子科技有限公司在流量計技術領域的深厚實力，也為其贏得了市場的廣泛認可和贊譽。未來，青島芯笙微納電子科技有限公司將繼續秉承“創新、品質、服務"的企業理念，不斷推動熱式流量計技術的發展，為行業進步貢獻更多力量
榮譽加冕，彰顯實力，技術創新推動未來
青島芯笙微納電子科技有限公司一直致力于技術創新和產品質量提升。公司的毛細管式熱式流量計和基于MEMS芯片的熱式流量計均展現了良好的性能和穩定性。未來，公司將繼續加大研發投入，推出更多高性能、高精度的流量測量產品，為各行業提供更加精準的流量計量解決方案。
近期，青島芯笙微納電子科技有限公司憑借其良好的技術實力和創新能力，榮獲了創客中國“市長杯"第一名這一重要獎項。這一榮譽不僅是對青島芯笙微納過去努力的肯定，更是對未來發展的鼓勵和鞭策。青島芯笙微納也將以此為契機，繼續加大研發投入，推動技術創新和產業升級，為客戶提供更加優質的產品和服務。
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