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環(huán)保流量控制器（Mass Flow Controller）是基于業(yè)內(nèi)的微機電（MEMS）流量傳感器芯片，結合高速采樣處理技術和數(shù)字補償算法，所開發(fā)的一款智能化、高精度的氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品。該產(chǎn)品配備有進口電磁比例閥、316L不銹鋼氣路座、高精度微機電流量芯片等，具有精度高、響應速度快、穩(wěn)定性好等特點。在輸出方面，帶有工業(yè)級液晶觸控顯示屏，具備流量設置、瞬時流量和累積流量顯示等功能。輸出信號可選擇：4-20mA和1-5V模擬信號，以及RS485等數(shù)字通信方式。

產(chǎn)品應用于：半導體加工、分析和環(huán)保、燃燒控制器、真空技術、表面處理、食品和制藥、化工（石化）等過程控制

環(huán)保流量控制器產(chǎn)品特點：溫度和壓力不敏感
                  高精度及*的零點穩(wěn)定性
                  超快的響應速度及穩(wěn)定時間
                  良好的重復性和再現(xiàn)性
                  寬電壓輸入，多種信號輸出方式
                  采用液晶觸控顯示和便捷控制
                  配備進口比例電磁閥