目錄:筱曉（上海）光子技術有限公司>>光學測量儀器>>精密定位/光學平臺>> IXY200-PAA-CMSIXY 系列雙軸高精密運動平臺 IXY200
| 產地類別 | 進口 | 價格區間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 化工,建材,電子 | 組成要素 | 半導體激光器產品及設備 |
優秀的高精密運動臺設計: IXY系列高精密運動平臺優化了高剛性和高動態性能設計，滿足最高動態性能要求的各種應用，是適用于光學、生化、電子制造等領域的理想的雙軸高精密運動系統。
優秀的精度和穩定的性能: IXY系列運動平臺具有高精度和高運動性能等特點。瑞熒公司基于高精度機械和運動控制相結合的*整體系統設計，生產出高精度和高性能的單軸、雙軸、多軸高精密運動平臺。
產品特點
結構精巧的雙軸高精密運動平臺
雙電機可實現高產量
高剛性，良好的兼容性
導向精度高，精zhun定位
產品應用
二維激光加工
激光直寫
光學測量
自動顯微鏡
IXY100 | IXY200 | |
行程 | 100mm | 200mm |
精度 | -P: 1.0μm -C: 1.5μm | -P: 1.5μm -C: 2.0μm |
重復定位精度(3σ) | -P: 0.3μm -C: 0.6μm | -P: 0.5μm -C: 0.8μm |
運動分辨率 *1 | AA: 10nm DS: 200nm | AA: 10nm DS: 200nm |
最大速度 *2 | 200mm/s | 300mm/s |
最大加速度 *2 | 0.5g | 0.5g |
水平方向直線度 | 1.5μm | 3μm |
垂直方向直線度 | 2μm | 4μm |
偏航角 | 15μrad | 30μrad |
俯仰角 | 50μrad | 100μrad |
裝載質量 *3 | 10kg | 20kg |
*1 針對不同的控制器、驅動器、環境振動和結構的系統設計可實現不同的運動分辨率，歡迎垂詢。
*2 針對不同承載重量、控制器、驅動器的系統設計可實現不同的速度和加速度，歡迎垂詢。
*3 歡迎與瑞熒公司工程師團隊交流具體裝載質量等參數要求，優化高精密運動平臺設計。
型號示例：
IXY100/IXY200 – PAA – CMS
型號說明:
系列 | 行程 | 光柵尺類型 | 編碼器輸出 | 電纜輸出 |
IXY | 100: 100X100 | -P: Invar Based Scale | AA: Sin/Cos | -CMS: With CMS Box |
200: 200X200 | -C: Gold Tape Scale | DS: 100nm A/B/Z | -C01: 1m Cable | |
DC: Customize | -C03: 3m Cable |
1、根據精密運動平臺參數和應用要求，提供不同的控制系統方案。
2、精密運動臺端口和電機參數兼容常見運動控制卡及驅動器。
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