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目錄:深圳市恒歌科技有限公司>>燒結不銹鋼濾芯>>不銹鋼金屬過濾器>> 超純氣流工藝氣體一體式過濾器

超純氣流工藝氣體一體式過濾器
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規格

屬性

供貨周期:一周 貨號:hk202353101 主要用途:氣液過濾

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更新時間:2024-11-11 17:13:36瀏覽次數:234評價

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供貨周期 一周 貨號 hk202353101
主要用途 氣液過濾 材質 不銹鋼
特性 耐高溫、耐腐蝕、易清洗 工作溫度 600℃
定制 來圖打樣
工藝氣體專用過濾器,專為半導體制程中真空腔體快速放氣應用進行設計。結合了擴散器的氣體流動特性和高效過濾器的顆粒攔截特性,擴散器專用過濾器過濾精度可達0.003μm。全316L不銹鋼結構,不僅確保高效過濾,更巧妙的規避了湍流產生,對工藝室環境造成影響,有效防止氣流吹起顆粒或者吹起硅片??啥ㄖ苹O計,靈活適應各類安裝空間。


用于半導體應用的高純半導體工藝氣體過濾器

產品介紹

工藝氣體專用過濾器,專為半導體制程中真空腔體快速放氣應用進行設計。結合了擴散器的氣體流動特性和高效過濾器的顆粒攔截特性,擴散器專用過濾器過濾精度可達0.003μm。全316L不銹鋼結構,不僅確保高效過濾,更巧妙的規避了湍流產生,對工藝室環境造成影響,有效防止氣流吹起顆粒或者吹起硅片??啥ㄖ苹O計,靈活適應各類安裝空間。

產品特點

?不銹鋼粉末燒結介質,可快速排氣

?整體316L不銹鋼結構

?減少工藝腔體排氣時的湍流

?適用于多種工藝氣體

?潔凈室環境內制造、測試、包裝

?100%完整性測試通過

?100%氦氣泄露檢測通過

?耐高溫、耐高壓、耐腐蝕

?防止微粒混入,幫助提高產品合格率

?可根據安裝空間進行設計












超純氣流工藝氣體一體式過濾器


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