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產品型號 | 1700℃單溫區三通道混氣CVD系統GSL-1700X-F3LV |
主要特點 | 1、雙層殼體,配有風冷系統,殼體溫度<55℃。 2、采用高純度氧化鋁多晶纖維保溫材料,有效減少能量損失。 3、內爐膛表面涂有美國進口氧化鋁涂層,可以提高加熱效率和延長使用壽命。 4、采用PID控制器 ,可以設置30段升降溫程序,并設有過熱和斷偶保護功能。 5、已通過CE認證。 |
技術參數 | 管式爐 1、電源:單相AC 208-240V 50/60Hz 5KW 2、爐管:99.8%高純氧化鋁陶瓷管,外徑Φ80mm,內徑Φ72mm,長1000mm 3、加熱元件:1800℃級硅鉬棒8根 4、加熱區域:457mm 5、恒溫區域:150mm 6、工作溫度:zui高1700℃ 7、zui大升降溫速率:5℃/min 8、控溫精度:±1℃ 9、真空度:5×10-2 torr 10、泄漏率:zui大6mtorr/min |
真空系統 1、真空泵:雙旋片機械泵 2、可達真空度:5×10-2 torr 3、法蘭:不銹鋼密封法蘭 4、針閥:2個不銹鋼針閥 5、真空泵接口:KF-25 6、軟管接頭:1/4″ 7、真空顯示計:LED數字式真空顯示計,測量范圍0.1mtorr-850torr | |
浮子流量混氣系統 1、浮子流量計:3個,精確度4%FS 2、流量計范圍:10-100cc/min,16-160cc/min,25-250cc/min 3、壓力表:1個,監測混合氣體壓力 | |
產品規格 | 尺寸:管式爐550mm×500mm×700mm,混氣系統600mm×600mm×700mm,真空機組600mm× 600mm×700mm 重量:210kg |
可選配件 | 防腐型數字真空顯示計 |