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PCE-6V小型等離子清洗機
  • PCE-6V小型等離子清洗機
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貨物所在地:遼寧沈陽市

地: 沈陽市

更新時間:2024-09-04 08:21:30

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PCE-6V小型等離子清洗機集成了RF等離子體發生技術、計算機控制技術、軟件編程技術,采用氣體作為清洗介質,有效地避免了因液體清洗介質對被清洗物帶來的二次污染。工作時外接一臺真空泵,清洗腔內的等離子體輕柔沖刷被清洗物的表面,可短時間內*清洗掉有機污染物,清洗程度可達到分子級。另外,其樣品臺可選配加熱功能,可加負偏壓,用以實現離子蝕刻。此外,其可在特定條件下根據需要改變某些材料表面的性能。


產品型號

 PCE-6V型等離子清洗機

主要特點

   1采用氣體作為清洗介質,避免了因液體清洗介質對被清洗物帶來的二次污染

   2可短時間內*清洗掉有機污染物

   3清洗程度可達到分子級

   4可在特定條件下根據需要改變某些材料表面的性能

   5清洗過程中的輝光放電可對某些特殊用途的材料加強粘附性、相容性和浸潤性,并可消毒和殺菌

         。

   6樣品臺可選配加熱功能,可加負偏壓,用以實現離子蝕刻。

   7廣泛應用于光學、光電子學、電子學、材料科學、生命科學、高分子科學、生物醫學、微觀流體

         學等領域。

技術參數

   1電壓:AC220V  10A

   2、消耗功率:<500W(包括真空泵)

   3RF電源:輸出功率100W,輸出頻率13.56MHz

   4、腔體:Φ190mm×98mm

   5、石英管:Φ180mm×55mm,壁厚7mm

   6、內腔:Φ165mm×55mm

   7清洗電極:Φ120mm

   8、樣品臺:Φ150mm,有效尺寸Φ140mm

   9、樣品臺與電極間距:15mm-50mm可調

   10抽氣管:Φ12mm

   11極限真空度:0.1Pa

   12工作真空度:60Pa-500Pa

   13氣路數量:2路(選裝)

   14流量控制器數量:12

   15流量顯示儀:2通道

   16氣路接口:Φ6mm

   17加熱樣品臺:Φ140mm,加熱樣品溫度RT-600℃±1℃(選裝)

   18冷卻水壓力:0.2KPa-0.4KPa

   19工作環境:溫度5-35℃,濕度<80%(相對濕度)不結露,海拔高度0-2000m

產品規格

 尺寸:245mm×235mm×460mm(不含真空泵),重量:20kg(不含真空泵)

可選配置

   1、加熱樣品臺

   2、流量控制器(量程1050100,zui多可增加2個通道)


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