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產品型號 | GSL-1100X-SPC-12等離子薄膜濺射儀 |
主要特點 | 1、可以調節電流大小,可設置濺射時間。 2、已經過CE認證。 |
技術參數 | 1、輸入電源:208V-240V 50Hz/60Hz 2、樣品臺:Φ60mm,高度可調節 3、石英腔體:Φ100mm×130mm 4、進氣口:內部裝有閥門,可以向腔體內通入各種氣體 5、靶材:純度為4N的金靶,Φ57mm×0.12mm
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產品規格 | 尺寸:480mm×320mm×150mm;重量:20kg |
可選配件 | 1、Au(Φ57mm×0.12mm,4N) 2、Pt(Φ57mm×0.12mm,4N) 3、Ag(Φ57mm×0.5mm,4N) |