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新型 INFICON Pirani /Piezo 組合真空計 (INFICON英福康PPG550皮拉尼真空計) 基于目前非常先進的 MEMS（微機電系統(tǒng)）傳感器技術(shù)。

在MEMS過程中微型化的Pirani/Piezo組合技術(shù)，能夠構(gòu)建一個非常小的、從而節(jié)省空間的傳感器，這使得測量設(shè)備的整體高度非常低成為可能。

除了高度低的優(yōu)勢外，基于MEMS技術(shù)的皮拉尼還具有在高壓范圍內(nèi)比傳統(tǒng)皮拉尼測量更深、更準確的優(yōu)勢。與安裝在同一法蘭上的MEMS壓電傳感器相結(jié)合，皮拉尼真空計成為一個真正的寬范圍真空計，其測量范圍遠遠超過通常的1000mbar，也可延伸到大氣壓層。同時，MEMS壓電傳感器提供獨立于氣體類型的壓力測量，范圍為2 ...1333毫巴。上述技術(shù)的另一個優(yōu)點是增加了對加速力和振動的抵抗力。

最后但并非最不重要的是，新的INFICON PPG550可以用來直接取代所謂的MKS910 "DualTrans™ MicroPirani™-絕對壓電真空壓力傳感器 "以及MKS925 "Micro Pirani™真空壓力傳感器"。Inficon提供了相同的連接器/引腳分配，模擬輸出和RS232/485兼容性。

INFICON英福康PPG550皮拉尼真空計

優(yōu)勢

l 2mbar以上的氣體類型獨立--允許任何氣體混合物的安全排放

l 大氣層的高精度和可重復(fù)性--用于可靠、快速的大氣壓力檢測

l 多種安裝方向--為工具設(shè)計提供工程自由度

l 可選擇模擬輸出信號，便于系統(tǒng)集成

l 數(shù)字接口RS232/RS485

l 符合標準。CE, EN, UL, CSA, RoHS

l 能夠直接替換MKS910 "DualTrans™ MicroPirani™ - Absolute Piezo Vacuum Pressure Transducers" 以及MKS925 "Micro Pirani™ Vacuum Pressure Transducers" 。

l DualTrans™ MicroPirani™是MKS Instruments, Andover, MA的注冊商標。

l 合規(guī)性和標準。CE, EN, UL, CSA, RoHS

典型應(yīng)用

l 在分析設(shè)備/質(zhì)譜儀中使用

l 物理氣相沉積

l 前線測量

l 氣體回填