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EBARA ESA系列真空干泵
EBARA ESA系列真空干泵抽速達1400L/min～10,000L/min，適合氫氣等輕質氣體排氣，以及20,000L/min～80,000L/min排氣量的機型，適合大型腔室高速排氣；采用緊湊化設計，可以選擇耐腐蝕性材料選配件，是MO-CVD等大流量輕質氣體排氣用途的zuijia選擇。大型機型兼具大排氣量和靜音低振的優點，還可選擇有機溶劑排氣用選配件，是LCD濺鍍裝置、真空干燥工藝和大型預真空的zuijia選擇。EBRA真空泵先進的控制和監測在半導體等要求苛刻的需求中得到長時間驗證。
技術特點：
l 滿足大型真空腔室高速排氣要求
l 低能耗、高抽速
l 選配后可抽取有機氣體、腐蝕性氣體
l 適合氫氣等輕質氣體排氣
l 智能轉子 RPM 控制功能，可實現靈活的氣體通量
l 認證標準： CE、SEMI-S2/NRTL
典型應用：
l LCD、FPD、OLED等行業
l 高含量輕質氣體的真空抽取（如H2）
l 腐蝕性氣體的抽取
l PVD、MOCVD等工藝
l 半導體、光伏制程
技術參數：
EBARA ESA系列真空干泵
設備名稱 | 單位 | ESA15-D | ESA25-D | ESA25XW | ESA70W(-D) | ESA70WN(-D) | ||
排氣速度 | L/min | 1,400 (50Hz) | 2,500 (50Hz) | 5,000 (50Hz) | 7,000 (50Hz) | 7,000 (50Hz) | ||
1,700 (60Hz) | 3,000 (60Hz) | 6,000 (60Hz) | 8,400 (60Hz) | 8,400 (60Hz) | ||||
極限壓力 | Pa | 400 (50Hz) | 5.3 (50Hz) | 5.3 (50Hz) | 0.27 (50Hz) | 0.4 (50Hz) | ||
270 (60Hz) | 4.0 (60Hz) | 4.0 (60Hz) | 0.13 (60Hz) | 0.27 (60Hz) | ||||
連接口徑 | 吸氣口 |
| NW40 | NW50 | ISO80 | NW50 | NW50 | |
排氣口 |
| NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | ||
極限壓力時功率概值 | kW | 2.9 (50Hz) | 2.6 (50Hz) | 5.2 (50Hz) | 3.6 (50Hz) | 3.6 (50Hz) | ||
3.2 (60Hz) | 2.9 (60Hz) | 5.8 (60Hz) | 4.0 (60Hz) | 4.0 (60Hz) | ||||
冷卻水 | 流量 | L/min | 3.5~8 | 3.5~8 | 7~16 | 3.5~8 | 3.5~8 | |
溫度 | ℃ | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | ||
N2 | 流量 | Pa•m3/s | 14~17 (4.6) | 17~20 (3.8) | 34~40 | 24~27 (4.7) | 24~27 (4.7) | |
電源 相／電壓／頻率 | 200V機型 |
| 三相/200V/50Hz | 三相/200V/50Hz | 三相/200V/50Hz | 三相/200V/50Hz | 三相/200V/50Hz | |
三相/200-220V/60Hz | 三相/200-220V/60Hz | 三相/200-220V/60Hz | 三相/200-220V/60Hz | 三相/200-220V/60Hz | ||||
400V機型 |
| 三相/380-400V/50Hz | 三相/380-400V/50Hz | 三相/380-400V/50Hz | 三相/380-400V/50Hz | 三相/380-400V/50Hz | ||
三相/380-440V/60Hz | 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-440V/60Hz | ||||
460V機型 |
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電源容量 | kVA | 6.4 | 6.4 | 12.8 | 10.3 | 10.3 | ||
質量概值 | kg | 240 | 240 | 480 | 380 | 380 | ||
設備名稱 | 單位 | ESA80W-HDF | ESA80WN-HDF | ESA100W | ESA100WN | ||
排氣速度 | L/min | 8,400 (50Hz/60Hz) | 8,400 (50Hz/60Hz) | 10,000 (50Hz/60Hz) | 10,000 (50Hz/60Hz) | ||
極限壓力 | Pa | 0.13 | 0.27 | 0.13 | 0.27 | ||
連接口徑 | 吸氣口 |
| NW50 | NW50 | NW50 | NW50 | |
排氣口 |
| NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | ||
極限壓力時功率概值 | kW | 4.2 | 4.2 | 4.9 | 4.9 | ||
冷卻水 | 流量 | L/min | 3.5~8 | 3.5~8 | 3.5~8 | 3.5~8 | |
溫度 | ℃ | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | ||
N2 | 流量 | Pa•m3/s | 54~57 | 54~57 | 54~57 | 54~45 | |
電源 相／電壓／頻率 | 200V機型 |
| 三相/200V/50Hz | 三相/200V/50Hz | 三相/200V/50Hz | 三相/200V/50Hz | |
三相/200-220V/60Hz | 三相/200-220V/60Hz | 三相/200-220V/60Hz | 三相/200-220V/60Hz | ||||
400V機型 |
| 三相/380-400V/50Hz | 三相/380-400V/50Hz | 三相/380-400V/50Hz | 三相/380-400V/50Hz | ||
三相/380-440V/60Hz | 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-440V/60Hz | ||||
460V機型 |
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電源容量 | kVA | 12.6 | 12.6 | 12.6 | 12.6 | ||
質量概值 | kg | 400 | 400 | 400 | 400 | ||
設備名稱 | 單位 | ESA200W | ESA300W | ESA500W | ESA700W | ||
排氣速度 | L/min | 20,000 (50Hz/60Hz) | 28,000 (50Hz) | 47,000 (50Hz) | 80,000 (50Hz/60Hz) | ||
30,000 (60Hz) | 50,000 (60Hz) | ||||||
極限壓力 | Pa | 0.53 | 0.53 | 0.53 | 0.5 | ||
連接口徑 | 吸氣口 |
| NW80 | ISO100 | ISO160 | ISO160 | |
排氣口 |
| NW40 | NW40 | NW40 | NW50 | ||
極限壓力時功率概值 | kW | 3.2 (50Hz) | 6.6 (50Hz) | 5.1 (50Hz) | 7.4 | ||
3.4 (60Hz) | 7.3 (60Hz) | 6.7 (60Hz) | |||||
冷卻水 | 流量 | L/min | 3.5~8 | 6~9 | 6~9 | 6~9 | |
溫度 | ℃ | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | ||
N2 | 流量 | Pa•m3/s | 17~20 (3.8) | 7.5~10.5 | 8.5~11 | 8.5~11 | |
電源 相／電壓／頻率 | 200V機型 |
| 三相/200V/50Hz | 三相/200V/50Hz | 三相/200V/50Hz | 三相/200V/50Hz | |
三相/200-220V/60Hz | 三相/200-220V/60Hz | 三相/200-220V/60Hz | 三相/200-220V/60Hz | ||||
400V機型 |
| 三相/380-400V/50Hz | 三相/380-400V/50Hz | 三相/380-400V/50Hz | - | ||
三相/380-440V/60Hz | 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-440V/60Hz | |||||
460V機型 |
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| 三相/440V/50Hz | 三相/440V/50Hz | 三相/440V/50Hz | ||
三相/440-480V/60Hz | 三相/440-480V/60Hz | 三相/440-480V/60Hz | |||||
電源容量 | kVA | 12 | 23.7 | 41.3 | 46.5 | ||
質量概值 | kg | 410 | 700 | 750 | 1200 | ||
杭州域勢科技有限公司專注于為工業及科研客戶提供流量、壓力、真空檢測及控制相關的技術服務及解決方案，公司代理經銷美國ALICAT、瑞士Vogtlin、美國MKS、日本EBARA等品牌，結合代理的產品為客戶提供優質的流量及壓力監控解決方案，旨在提高客戶的研發及生產效率、改進客戶制造工藝、推動客戶科研及創新進度。
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