日本ULVAC愛發科渦旋式干式真空泵
特點
結構緊湊，排氣量大。
干式真空泵的最高壓力水平。
內置自動復位型熱保護器（單相用）安全設計。。
通過空氣沖洗抑制水分凝結。。
用途
分析設備
氣體回收系統
涂裝設備
TMP的背泵
氦氣檢漏儀
半導體制造工藝
日本ULVAC愛發科渦旋式干式真空泵
規格
| Unit | 50Hz | 60Hz | 設計排氣速度度※1 | L/min | 500 | 600 | 極限壓力 | Pa | 1.0 | 使用電動機※2 | 單相 |
| 100/115/200/230V, 600W, 4P , 電容器啟動?運転 | | 三相 | 200/208/230/380/400/415/460V, 600W, 4P | 全負荷電流 | 單相 | A | 8.5/4.3/3.9
(100/200/230V) | 10.0/8.6/4.8/4.0
(100/115/200/230V) | | 三相 | 2.7/1.57/1.57/1.63
(200/380/400/415V) | 2.8/2.6/2.5/1.47
(200/208/230/460V) | 重量 | 單相 | kg | 44.0 | | 三相 | 38.0 | 吸氣口徑 |
| KF-40 | 排氣口徑 |
| KF-25 | 使用環境溫度范圍 | ℃ | 5～40 | 水蒸氣處理量 | g/day | ≦25以下（AF開時※3, 室溫25℃, 濕度60％以下） | 噪音水平 | 單相 | dB | ≦62（AF開時※3, ≦70） | | 三相 | ≦60（AF開時※3, ≦68） | 最大尺寸 | 單相 | mm | 290(W)×443(L)×397(H) | | 三相 | 292(W)×372(L)×397(H) |
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