聯系電話
- 聯系人:
- 周璇
- 電話:
- 0755-22220216
- 手機:
- 17503077078
- 傳真:
- 86-755-22220215
- 地址:
- 深圳市龍華區龍華街道松和社區匯食街一巷7號3層
- 個性化:
- www.gor.com.cn
- 網址:
- www.ikedaya.cn/
掃一掃訪問手機商鋪
測量原理 | 見參數 | 產地類別 | 進口 |
---|---|---|---|
價格區間 | 2千-5千 | 量程 | 見參數mbar |
應用領域 | 化工,地礦,能源,建材,綜合 | 真空接口 | 見參數 |
訂貨號 | 175.030.770.78 周璇 |
這是一個新系列的傳感器類型 “G-TRAN系列復合電離真空計“,可以實現不同的測量范圍。
作為B-A型電離真空計、可以測量超高真空。
保留了以往的寬幅測壓和低運行成本的理念,但進行了改進,更加人性化。
ULVAC愛發科 熱陰極電離真空計 傳感器型
ULVAC愛發科 熱陰極電離真空計 傳感器型
特點
可連接到不同的測量范圍:復合電離真空計可以根據
小型化:與之前的產品相比,實現了尺寸的大幅縮?。刂破黧w積縮小56%),成為同級別最小的產品之一。
操作性的提高:通過與PC/智能手機的連接,可以進行設定點設置、狀態確認等。
強大的產品陣容:除模擬輸出規格(SH200-A)和串行通信規格(SH200-R)外,還將增加EtherCAT規格(SH200-E)。
燈絲壽命通知功能:通過監測燈絲功率,可提前通知燈絲壽命。
壓力測量范圍廣:從大氣壓到高真空范圍(1×10+5~5×10-8Pa)(選配SWU10-R的情況下)。
可以精確的測量大氣壓:可以檢查腔體的開啟情況(當連接了可選的單元SAU時)。
用途
用于各種制造設備的高真空區域的工藝監控,包括半導體和電子元件。
用于具有多個處理室的各種制造設備的高真空區域的極限壓力測量,例如in-line式和枚葉式
高真空?超高真空設備的壓力測量
規格
型號 | SH200-A | SH200-R | HT200-E | |
規格 | 標準規格 | 串口通信規格 | EtherCAT規格 | |
適應多離子傳感器 | M-44(NW16), M-45(NW25), M-46(ICF070) | |||
可以連接的傳感器 | 多離子傳感器:1本 皮拉尼真空計SWU10-R:1本(可選) 大其他傳感器SAU:1本(可選) | |||
測量精度(N2) | SH200本體模式:±2% | |||
取樣時間 | 60ms | |||
測定値出力 | 出力電壓 DC 0~10V LOG出力 0.75V/1桁 圧力換算公式 V=7.25+0.75×(LogP-2) P=10^{(V-7.25)/0.75+2} | |||
更新時間 | 60msec | |||
控制輸入信號 | FIL ON/OFF, FIL 1/2, DEGAS ON/OFF 打開集電極動作、負邏輯 * FIL ON/OFF信號使用方式因模式而異 | - | - | |
制御出力信號 | 傳感器錯誤,設定點1/2/3, 有效排放,燈絲電力監控 定格:24VMAX、50mAMAX、飽和電圧1V | - | - | |
串行通信規格 | - | RS232C/RS-485 | EtherCAT | |
LED顯示 | POWER/ERROR: 電源、LED ERROR (閃爍狀態根據各種模式變化) | |||
發射電流 | 1mA (1×10-3Pa以下), 10μA (1×10-3Pa以上) | |||
DEGAS | 電子轟擊脫離方法(電子轟擊)1mA、330V | |||
測量部耐圧性 | 2×10+5Pa (絕對壓力) * 需要單獨考慮法蘭和夾具等的耐壓性 | |||
傳感器內部容量 | 17cm3(M-44), 19cm3(M-45), 17cm3(M-46) | |||
使用溫度范圍 | 10~50℃ | |||
使用濕度范圍 | 15~80%(不結露) | |||
保管溫度 | -20~65℃(非通電時、不結露) | |||
IP保護等級 | IP30 | |||
電源電壓 | DC20~28V (波紋,噪音1%以下) 8W以下 | |||
輸入/輸出連接器 | D-sub15銷(M2.6螺絲) | |||
重量 | 調節器:約280g 測定子(M-44, M-45):80g, (M-46): 300g | |||
外形尺寸 W×D×H | 69mm×63mm×90mm (控制器部分) | |||
適合規格 | CE |