日本TORAY東麗氧化鋯氧氣儀傳感器
MS-500/MS-510/SD 傳感器系列是利用我們多年積累的半導體和電子行業氧分析儀制造技術，為包括真空設備在內的各種設備開發的產品。
配備我們專有的緊湊型氧化鋯傳感器，可以長時間進行穩定和高精度的測量，并通過安裝氧傳感器保護機構，實現了超過傳統產品的耐用性。 此外，通過將氧傳感器和轉換單元分開，并將檢測器的數量增加到 8 個點，可以同時進行測量
日本TORAY東麗氧化鋯氧氣儀傳感器
日本TORAY東麗氧化鋯氧氣儀傳感器
產品特點
主機特點
- 最多可同時測量 8 個點
使用單個控制器最多可同時測量 8 個點。
（作為選項添加一組轉換器和 SD 傳感器）
?低成本和節省空間
它非常適合安裝和集成到批量生產的機器中。
? 可選支持
通過將傳輸輸出更改為 LAN 規格，可以從 LAN 連接器輸出。
傳感器特性
?兼容真空氣氛
它是一種無需采樣的直插式傳感器，即使在真空環境中也可以測量。
- 超快響應
使用單獨的傳感器可實現最短的響應時間。
- 高耐用性傳感器
傳感器經過特殊涂層處理，實現了高耐用性。
* 有關 SD 傳感器的詳細特性和規格，請參閱 SD 傳感器產品目錄
?標準等
CE 標志 ...... EN61010-1、EN61326-1
RoHS ...... EN63000
產品規格
總體規格
| 型 | 控制器：MS-500
傳感器：MS-510
傳感器：SD16NW/SD25NW/SD40NW |
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| 測量點數量 | 最多 8 個點（每個測量點需要 1 組檢測點） |
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| 測量方法 | 氧化鋯含氧電池驅動 |
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| 測量范圍 | 0.001ppm~100% |
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| 安裝要求 | 安裝位置： 室內，非防爆區域
環境溫度： 控制器/傳感器： 0~40°C 傳感器
單元： 0~50°C 環境
濕度： 35~80%RH （非冷凝）
安裝溫度： 控制器/傳感器： 0~40°C 傳感器
單元： 0~100°C
不含易燃成分、鹵素、二氧化硅和腐蝕性成分 |
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控制器規格
| 大小 | 92 寬×44 高×120 深（毫米） |
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| 質量 | 約 0.6 kg |
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| 安裝方法 | 使用 M3 螺釘進行面板安裝 |
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| 權力 | 電源：DC24V，0.3A |
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| 濃度指示 | 自動量程數字 4 位顯示（密度顯示） 通過自動量程切換
顯示
0-1/10/100/1000ppm/1/10/100% |
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| 通信輸出規格 | 通信方式：單向、RS-232C 兼容、D-sub 9 針（針式觸點） 傳輸
速率：9,600/19,200/38,400 bps
LAN 連接：可選 |
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| 選擇 | LAN 輸出（傳輸輸出） |
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探測器（transducer、sensor）規格
| 大小 | 傳感器：100 （W） × 40 （H） × 88 （D）（單位：mm，不包括突起部分）
傳感器：總長度 100（單位：mm） |
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| 質量 | 傳感器：約 0.5 kg 傳感器
：約 0.3 kg |
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| 安裝方法 | 傳感器：用 M3 螺釘
固定在平面上傳感器：ISO 真空法蘭 |
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| 連接 | 傳感器 ~ 通過專用線路進行傳感器到傳感器連接
標準長度 2 m，最長 10 m |
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| 預熱時間 | 6 分鐘內 |
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| 權力 | 電源：DC24V，2A 功耗
：60VA（穩態：15VA） |
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| 重復性 | 0~1% 范圍或更高：±0.5%FS 或更低 小于
0~1% 范圍：±1.0%FS 或 ±0.1ppm，以大于 *
0~1ppm 范圍及以下為準，不予保修。 |
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氣點
穩定性 | ± 1.0% FS 或更低 / 24 小時 |
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| 試樣條件 | 請勿在還原氣氛中使用。
此外，如果被測氣體的比熱很高，例如高濃度的 He，則可能無法使用它。
溫度：0~100°C 壓力
：10-3Pa~200kPa（絕對壓力）
濕度：露點低于環境
溫度 流量：0.5 ~ 5L/min 或 0L/min（測量自然擴散狀態） |
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