目錄:北京鴻瑞正達科技有限公司>>清洗>> PCE-6小型等離子清洗機
產品簡介:
PCE-6 小型等離子清洗機的等離子腔體為 Ø160mm×190mm 的石英腔體, 采用的射頻電源功率 3.0MHz( 1%),輸出功率 7.2W 、10.2W 、29.6W 三檔可調。本機主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等 離子體來去除基片上的氧化層和污染物,同時也可改變物體表面的性質 (如親水和疏水性等),對于基片的 清洗以及薄膜處理是較為理想的設備。
產品型號 | PCE-6 小型等離子清洗機 |
主要特點 | 1、通過控制面板的按鍵及開關,可控制調節射頻功率、真空泵的開閉、清洗時間。 2 、時間、功率、 真空度等信息顯示在一組 4 位數碼管上。
3 、設有一個三通閥, 可精確控制進氣流量, 以及大氣流清洗腔體,進氣接口為 6mm 卡套 接口。 4、選用大功率射頻電源設備可進行等離子刻蝕和等離子灰化實驗。 |
技術參數 | 1 、電源: AC220V 50/60Hz 2、輸出功率: 7.2W 、10.2W 、29.6W 3、真空泵功率: <500W 4、總功率: <600W 5、射頻頻率: 3.0MHz ,功率 3 檔可手動調節 6 、等離子腔體: 高純石英腔體, Ø160mm×190mm,采用鋁制折疊式法蘭進行密封,法蘭 上設有 Ø45mm 的觀察窗 7、真空泵: 240L/min,直連式雙旋真空泵 8、極限真空度: 50mtorr 9 、通入氣體: 可通入多種氣體來產生等離子, 如 N2 、Ar 、H2 、O2 、Air 和混合氣體等(根 據材料性質選定) |
清洗及蝕刻 | |
產品規格 | 尺寸: 400mm×300mm×300mm,重量: 10.2kg |
可選配件 | 1 、2"-6"石英舟(盛放基片) 2 、2-4 通道質子或浮子混氣系統 |