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SNE-4500G臺式掃描電子顯微鏡SEM
主機
A. 技術參數
1. 分辨率:5nm (30kV, SE Image)
2. 放大倍率:30x~100,000x (有效放大倍率60,000x)
3. 加速電壓 :
5kV to 30kV (5Kv/10Kv/15kV/20kV/30Kv-5 step)
4. 圖像:
二次電子圖像-(SEI)-Secondary Electron Image
5. Observation mode: Standard Mode
6. 電子槍系統:
燈絲類型:預對中鎢燈絲
偏壓系統:自動偏壓方式
電子槍校正:手動方式
7. 透鏡構成
i. 聚光鏡 : 2段式磁線圈透鏡
ii. 物鏡 : 1段式磁線圈透鏡
8. 探測器類型
E-T Detector
9. 載物臺系統:5軸操控
- X, Y-axis : 40mm / R-axis : 360°
- Z : 0~35mm / Tilt-axis : 0~45°
10. Image shift:X, Y Image Shift (100?)
11. 樣品zui大尺寸 :
80mm in diameter, 35mm in height
SNE-4500G臺式掃描電子顯微鏡SEM
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