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光學膜厚儀的應用和原理

來源:優尼康科技有限公司   2020年04月09日 09:59  

光學膜厚儀是一種非接觸式測量儀器,一般會運用在生產廠商生產產品的過程,由于誤差經常會導致產品全部報廢,這時候就需要運用光學膜厚儀來介入到生產環境,避免這種情況的發生。

典型應用領域

半導體制造業,光刻膠、氧化物、硅或其他半導體膜層的厚度測量。

生物醫學原件:聚合物/聚對二甲苯;生物膜/球囊壁厚度;植入藥物涂層。

微電子:光刻膠;硅膜;氮化鋁/氧化鋅薄膜濾鏡                       

液晶顯示器:盒厚;聚酰亞胺;導電透明膜

由于是光學測量,在測量時候無須擔心破壞樣品,讓用戶簡單快速地測量薄膜的厚度和光學常數,通過對待測膜層的上下界面間反射光譜的分析,幾秒鐘內就可測量結果。

優尼康科技有限公司提供的光學膜厚儀,是一款桌面型的產品,操作簡單,適用領域廣闊,遠程的在線技術支持,讓膜厚測量更輕松。

系統特點:

嵌入式在線診斷方式;

免費離線分析軟件;

精細的歷史數據功能,幫助用戶有效地存儲,重現與繪制測試結果

優尼康主要為半導體、新能源企業和高校及研發中心提供各類精密進口制程及測量設備。提供的一對一*,技術支持,備件管理和咨詢服務。

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