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探针台技术指导

来源：北京锦正茂科技有限公司 2020年08月11日 09:54

选型注意事项：

※大需要测几inch的晶圆或者器件！是否需要测试破片或者单颗芯片！小的单颗芯片尺寸！

※探针台机械精度要求多高！

※点测样品的电极尺寸！100μm *100μm或60μm *60μm的pad，还是FIB制作的mini pad，或者ic内部的metal线路！

※多需要几个探针同时去点测！

※是否会用到探针卡测试！

※光学显微镜的小分辨率需要用到多少！

※显微镜方面，是否需要添加偏光片做LC液晶热点侦测！

※探针点测时，对电流的要求是否达到100fa或者以下！低

电容要求是否要做到0.1pf！是否有射频需求！

※接驳的测试仪器接口有哪些！

※测试环境时是否会需要加热或者降温！是否需要密闭腔体！

※对chuck的漏电要求怎样！是否需要添加低阻抗chuck！

※是否需要防震桌！

※若添置防震桌，是否有压缩空气！

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