等離子清洗機(plasmacleaner)也叫等離子清潔機,或者等離子表面處理儀,是一種全新的高科技技術,通過對氣體施加足夠的能量,使之離化成等離子狀態。依靠等離子體中活性離子的“活化作用”達到去除物體表面污漬的目的。等離子清洗機外接一臺真空泵,工作時清洗腔內的等離子體輕柔的沖刷被清洗物表面,短時間的清洗可以使有機污染物被*的清洗掉,同時污染物被真空泵抽走,清洗程度能達到分子級。有效避免了因液體清洗介質對清洗物帶來的二次污染。
工作原理:
等離子清洗機采用氣體作為清洗介質,通過化學反應或物理反應,達到清洗目的。
(1)化學反應
在化學反應里常用的氣體有氫氣(H2)、氧氣(O2)、甲烷(CH4)等,其反應機理主要是利用等離子體里的自由基與材料表面做化學反應。下圖為氧等離子體去除有機物的反應過程。
(2)物理反應
常見的氣體為氬氣,氬離子在自偏壓或外加偏壓作用下,被加速產生動能,轟擊放在負電極上的被清洗工件表面,一般用于去除氧化物、環氧樹脂或者微顆粒污染物,同時進行表面能活化。反應過程如下:
風險辨識如下:
(1)清洗介質的泄漏風險
清洗介質一般為氣體,常使用氣瓶,通過管道送至設備使用,如果發生氣瓶或送氣管道、用氣設備的泄漏,可能會發生事故,如果使用氫氣、甲烷等易燃易爆氣體,室內有明火、靜電等可能發生火災、爆炸事故;如果使用氬氣,室內通風不良,可能發生窒息事故;如果使用氧氣,氧氣屬于氧化性氣體,會增加可燃物的易燃性,如果室內氧氣濃度過高,可能會發生火災事故。
(2)設備觸電風險
1)電氣設施線路絕緣因擊穿、老化、腐蝕、機械損壞等失效。
2)未裝設漏電保護裝置或漏電保護裝置失效。
管控措施:
(1)防火、防爆、防窒息措施
1)規范氣瓶使用,氣瓶附件應齊全,并采取防止傾倒的措施。氣瓶應定期檢測,確保在有效期內。供氣管道與用氣設備連接牢固。
2)如使用氧氣,氣瓶閥、接頭、減壓器、軟管及設備必須與油、潤滑脂及其它可燃物或相隔離。嚴禁用沾有油污的手、或帶有油跡的手套去觸碰氧氣瓶或氧氣設備。如使用氫氣,建議在使用設備附近設置氫氣泄漏報警器。
3)保持室內通風良好,通風不良的應加裝機械排風。
(2)防觸電措施
設備應接地,電源線無破損、老化現象。
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