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等離子體質譜ICP-MS由于分析速度快、線性范圍寬、可多元素測定、檢出限低等優點，被廣泛地應用于生物與醫學、環境與食品、地質、化學反應的機理研究、鋼鐵、同位素比測定、核材料、貴金屬和高純物質分析等領域。關于ICP-MS做半定量分析的應用報道也較多。
ICP-MS用作半定量分析時可測定約80種元素，絕大多數元素誤差小于20%。用內標校正空白和樣品分析之間的漂移。Soldevila等系統地評估了ICP-MS多元素半定量分析時的工作參數（駐留時間，每次讀數的掃描次數，每次重復的次數和總的重復次數）的影響。
等離子體質譜ICP-MS的優勢特點：
進樣系統：敞開式進樣系統結構，使用外部安裝的霧化器，自我定位，無需調整。
炬位調整系統：計算機控制x、y、z三維炬管位置，所有調整參數存入分析方法內。
等離子體屏蔽技術：更大地提高儀器的靈敏度，改善低質量數元素的檢出限，達到ppt水平
活動閥門：計算機控制閥門，保護儀器真空，便于在真空系統工作時拆裝和清洗采樣錐和截取錐。
離子透鏡系統：配有高效率六極桿離子導向系統，在全質量范圍內獲得的離子傳輸效率，全自動的離子聚焦調諧過程，真空室內的透鏡使用非對稱安裝，方便拆裝定位。
檢測器：ETP雙模式檢測器，分成兩部分分列打拿極電子倍增器，無需數/模切換。
新型真空腔體結構：腔體內無任何導線連接，各個組件采用不對稱安裝和插入式安裝。
斷電保護系統：在意外停電發生時，安全自行關機，而不損壞儀器系統。
軟件：提供自動控制儀器及其附件的能力，軟件囊括了多種分析方法，包括特殊的同位素比值測定及同位素稀釋法。
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