AtomicForceMicroscope 原子力顯微鏡 ,AFM，是一種用于研究固體材料表面結構的分析儀。該系統利用探測被測樣品表面與微量力敏元件之間具有非常微弱的原子間相互作用力，研究了物質的表面結構及其性質。把一對弱力極敏感的微懸臂一端固定在一端，另一端的微小針尖靠近樣品，當與樣品相互作用時，作用力會使懸臂變形或改變運動狀態。用傳感器對掃描樣品進行測量，可以得到力場分布的信息，從而獲得材料的納米尺度的表面結構信息和表面粗糙度信息。

運作方式：

AFM工作原理

在一端固定一端，另一端有一小針，針尖與試樣表面輕輕地接觸，對弱力非常敏感。因為針尖尖原子與樣品表面原子之間存在很弱的作用力，使得懸臂產生微小的偏轉。該方法通過對掃描各點位置變化進行檢測，利用反饋控制其排斥力的恒定，實現了對掃描各點位置變化的測量，從而得到樣品表面形貌圖像。

運行方式：

AFM的工作方式按針尖和試樣的作用方式進行分類。觸擊式(contactmode)、不觸擊式(non-contactmode)和敲擊式(tappingmode)三種操作方式。

AFM工作模式的研究。

觸點方式：

觸擊方式是AFM最直接的成像方式，從概念上理解。在AFM掃描成像過程中，探針針尖和試樣表面始終保持緊密接觸，互相作用為排斥力。由懸臂作用于針尖的作用力會破壞樣品的表面結構，從而使掃描時所受的壓力范圍為10~10-6N。如果試樣表面柔軟，承受不了這種作用力，則不宜選擇接觸方式對試樣表面成像。

無觸點方式：

當懸臂在距樣品表面以上5~10nm的距離上振動時，非接觸方式探測樣品表面。在這段時間內，試樣和針尖的相互作用是由范德華力控制的，一般為10-12N，試樣不會被破壞，且針尖不受污染，尤其適用于對柔軟物體的研究。該運行方式的缺點是，該模式很難在室溫大氣環境中實現。由于試樣表面不可避免地會積聚一層水份，所以就在試樣和針尖之間搭起一小片毛細橋，使針尖和表面接觸，從而增加針頭對表面的壓力。

擊打方式：

擊打方式介于觸擊式與不觸擊式之間，屬于雜化性概念。試樣表面上方的懸臂以共振頻率振蕩，而針尖只是周期性地與樣品表面接觸/撞擊。也就是說，針尖與樣品接觸時，產生的側向力將顯著降低。所以，在對柔軟試樣進行檢測時，AFM敲擊方式是。當AFM開始對樣本進行成象掃描后，設備立即將相關數據輸入系統，例如表面粗糙度，平均高度，峰谷頂點之間的距離等，用于物體表面分析。此外，AFM還能完成測力工作，通過測量懸臂彎折度來確定針尖和試樣的受力大小。

三種模式對比：

觸擊模式(ContactMode)：

優勢：掃描速度快，是AFM在垂直方向發生明顯變化的能得到“原子分辨率”圖像的硬質樣品，有時更適合用ContactMode掃描。

劣勢：側向力影響圖像質量。由于樣品表面的毛細作用，使得針尖和試樣之間的粘附力非常強。側向力和粘著力的聯合作用使圖象的空間分辨率下降，而針尖刮傷樣品也會破壞軟質樣品(例如生物樣品、聚合體等)。

不觸擊模式(Non-contactMode)：

好處：不需受試樣面。

缺陷：由于針尖從試樣上分離，橫向分辨率較低；為避免與吸附層接觸而造成針尖膠的粘連，掃描速度較慢。一般只在怕水的樣品上使用，吸收液層必須薄，如果過厚，針尖就會落入液體層，造成反饋不穩定，刮擦試樣。因為以上缺陷，non-contactMode的使用是有限的。

敲擊模式(TappingMode)：

優勢：可以很好地消除側向力。減小了吸收液層所產生的成像分辨率高、適合觀察軟質、易碎、膠粘性的樣品，不會對其表面造成損傷。

劣勢：掃描速度比ContactMode慢。：

AFM優勢：

AFM技術樣品制備簡便，甚至不需處理，對樣品破壞性遠小于其它常用方法。

AFM可以在包括空氣、液體和真空在內的各種環境中工作，生物分子可以在生理條件下直接成像，也可以實時觀測活細胞的運動狀態。