用戶(hù)需求:控制水蒸氣的流量
選用設(shè)備:ACU20FD高精度質(zhì)量流量控制器
過(guò)程描述:在蒸汽發(fā)生器內(nèi)注入適量的水并維持 1-SKPa 的絕壓, 使得容器內(nèi)的水氣化溫度低至35-40℃,立為了防止水蒸氣液化,流通
管道上設(shè)有伴熱50℃。通過(guò)ACU20FD質(zhì)量流量控制器可將水蒸氣控制在0.2-10sccm。
方案優(yōu)點(diǎn):
① 通過(guò)抽真空使水容器內(nèi)保持負(fù)壓(本案例為絕壓 1-5KPa) ,使得水的氣化溫度低至35-40℃,避免了在高溫條件下的流量控制 和測(cè)量,可以讓用戶(hù)有更多的產(chǎn)品選擇。
②ACU20FD質(zhì)量流量控制器可以在精度更高、 出口壓力更小的情況下,把水蒸汽流量精確控制在0.2-10sccm 的量程范圍內(nèi)。
相關(guān)產(chǎn)品
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