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低溫過氧化氫等離子滅菌器主要功能為確保過氧化氫能夠汽化并擴散到器械表面，并將殘留過氧化氫分解。滅菌依靠過氧化氫的氧化能力，破壞細胞壁和細胞內部的蛋白質，達到滅菌的功能。因此，滅菌是否合格主要決定于過氧化氫是否與器械表面的細菌接觸。一旦接觸，會一直作用，最終將細菌殺滅。
如果在實驗過程中，滅菌失敗，造成過氧化氫滅菌失失敗的原因是什么呢？該怎么在實驗過程中減少滅菌呢？
器械清潔不干凈：器械上有血跡及其他雜質存在，其中的無機物和有機物蛋白質類污染物影響低溫等離子滅菌器的滅菌效果。
器械汽化干燥不夠：器械潮濕會使水分集聚到滅菌器的真空泵內，導致抽真空過程受阻，滅菌程序中斷。裝前檢查待滅菌物品的清潔度和干燥程度
滅菌時器械裝載不當：器械重疊過多，器械過長，接觸艙壁門，影響滅菌效果。裝好器械的消毒包裝袋應逐個、單層平放，不可重疊，金屬器械不能與滅菌艙側壁接觸，距滅菌室內壁的間距宜5cm以上，滅菌物品最大放入量以高頻電刀導線10根為宜。
包裝不當：器械潮濕會使水分集聚到滅菌器的真空泵內，導致抽真空過程受阻，滅菌程序中斷，裝前檢查待滅菌物品的清潔度和干燥程度。用專用消毒包裝袋單個密封包裝。或放入專用滅菌器械盒內，用雙層無紡布包裹。
滅菌系統的自身因素：由于儀器自身系統發生故障致滅菌失敗。滅菌前檢查設備性能是否良好，設置最佳滅菌運行程序。滅菌過程中認真觀察監測屏顯示的溫度及機器運轉狀況，遇有故障停止滅菌進行處理。滅菌后檢查包外指示膠帶及化學監測卡是否合格。
指示卡不變色：若放指示卡時將其緊貼在包裝袋的塑面，在滅菌過程中過氧化氫不能通過指示卡，則指示卡不變色，或指示卡在空氣中放置時間太長，雖在有效期內但已被氧化則滅菌后也不變色，應將指示卡避光保存防止氧化，使用時用小鑷輕輕夾取，放于包裝袋內防止手跡污染。過氧化氫液質量不合格或過期：應使用取得衛生許可的專用過氧化氫滅菌劑，室溫避光陰涼處存放。工作人員應及時更換過氧化氫液，并在鍋的旁邊標明更換日期。
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