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一、背景介紹：
1.分辨率方面，一是可以通過(guò)原子力顯微鏡(AFM)或掃描近場(chǎng)顯微鏡(SNOM)等近場(chǎng)技術(shù)來(lái)提高，二是可以通過(guò)使用短波長(zhǎng)光源來(lái)提高，三是可以通過(guò)非線(xiàn)性吸收實(shí)現(xiàn)超分辨率成像或制造。
2.制造速度方面，除了工程學(xué)方法外，隨著激光技術(shù)的發(fā)展，主要是提出了包括自組裝微球激光加工、激光干涉光刻、多焦陣列激光直寫(xiě)等并行激光加工方法來(lái)提高制造速度。
3.并行激光加工技術(shù)可以將二維加工技術(shù)擴(kuò)展到三維加工，為未來(lái)微納加工技術(shù)的發(fā)展提供新的方向；同時(shí)可以地廣泛應(yīng)用于傳感、太陽(yáng)能電池和超材料領(lǐng)域的表面處理和功能器件制造，對(duì)生物醫(yī)學(xué)器件制造、光通信、傳感、以及光譜學(xué)等領(lǐng)域得發(fā)展研究具有重要意義。
二、特點(diǎn)與注意事項(xiàng)：
1.由于近場(chǎng)效應(yīng)，接觸模式可以實(shí)現(xiàn)光學(xué)超分辨率；二是與傳統(tǒng)的基于AFM/SNOM“筆尖”的近場(chǎng)直接書(shū)寫(xiě)方法相比，不僅可以顯著提高制造速，同時(shí)還避免了“筆尖”的磨損。
2.大多數(shù)情況下微球體的分布過(guò)程不受控制，因此在大規(guī)模生產(chǎn)中仍然面臨許多挑戰(zhàn)；二在大面積制造中不能避免缺陷，導(dǎo)致該技術(shù)僅于科學(xué)研究而不是工業(yè)生產(chǎn)。
三、區(qū)別與聯(lián)系：
1.金屬及半導(dǎo)體材料的表面微加工，表面微加工就是在材料的表面進(jìn)行微納米級(jí)線(xiàn)、孔和凹槽的制備，對(duì)加工具有較高的技術(shù)要求。而飛秒激光加工技術(shù)則是開(kāi)展表面微加工的有效工具。在理想的表面微加工狀態(tài)下，應(yīng)該保持材料外部的最小損傷。
2.光聚合材料的內(nèi)部三維成型，光聚合材料具備光敏化學(xué)作用。在光聚合材料的內(nèi)部，運(yùn)用飛秒激光加工技術(shù)可以實(shí)現(xiàn)較高分辨率的三維加工，主要原理就是產(chǎn)生了雙光子聚合現(xiàn)象。對(duì)飛秒激光進(jìn)行聚焦，產(chǎn)生雙光子吸收效應(yīng)，作用于光聚合物材料的內(nèi)部產(chǎn)生固化現(xiàn)象，制備出三維的微結(jié)構(gòu)。
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