一、臺階樣板
該類樣板主要用來校準臺階儀、光學輪廓儀、原子力顯微鏡等各種臺階高度測量儀器。
臺階高度范圍:10nm~100μm;
臺階區域表面粗糙度Sa:優于5.0nm;
臺階區域均勻性:優于15nm;
臺階樣片尺寸:10mm×10mm。
序號 | 臺階標稱高度 |
1 | 10nm |
2 | 20nm |
3 | 30nm |
4 | 50nm |
5 | 100nm |
6 | 200nm |
7 | 500nm |
8 | 1000nm |
9 | 2μm |
10 | 5μm |
11 | 10μm |
12 | 20μm |
13 | 50μm |
14 | 100μm |
二、光柵樣板
該類樣板主要用來校準掃描電子顯微鏡、原子力顯微鏡等各種線條尺寸測量儀器。
樣片類型:一維光柵、二維柵格
區域均勻性:優于15nm;
尺寸范圍:100nm~10μm(一維光柵)、2μm~10μm(二維柵格)
線條直線度:優于10nm;
類型 | 具體結構 |
復合型光柵樣板 | 包含一維結構:100nm、200nm、500nm、1μm、2μm、5μm、10μm; 二維結構:2μm、5μm、10μm |
微米級光柵樣板 | 包含一維、二維光柵結構 結構尺寸:2μm、5μm、10μm |
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