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紫外臭氧清洗機是一款臺式的紫外臭氧清洗設備。通過紫外線和臭氧清洗基材表面，能夠簡單，經濟，快速獲得超潔凈表面。能去除大多數無機基材（比如石英，硅片，金，鎳，鋁，砷化鎵，氧化鋁等）上的有機污染物。特別是當基材和薄膜蒸鍍需要很好的粘接時，紫外清洗非常理想。獲得超潔凈的表面，只需要在傳統清洗后，再用紫外臭氧清洗幾分鐘。使用該設備清洗的好處有：
1、是一種無接觸方式，可在空氣中進行并且在清洗后不必進行干燥。
2、可清除物體表面的碳和有機污染物。
3、沒有溶劑揮發及廢棄溶劑的處理問題。
4、保證產品的高可靠性和高成品率。
5、產品表面清洗處理的均勻度一致。
6、由于光清洗是通過光敏、氧化反應去除物體表面的碳和有機化合物，所以容易發生氧化的表面不宜用光清洗方法，只適對表面污垢清洗、不適對污垢量較多的無機類污垢清洗。
紫外臭氧清洗機應用在生活中的作用：
1、在半導體生產中，硅晶片涂保護膜、鋁蒸發膜前進行光清洗，可以提高粘合力，防止針孔、裂縫的發生。
2、光學玻璃經過紫外光清洗后，鍍膜質量更好。
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