亚洲AV成人片无码网站玉蒲团,男人10处有痣是富贵痣,AV亚洲欧洲日产国码无码苍井空,日韩午夜欧美精品一二三四区

產(chǎn)品推薦:氣相|液相|光譜|質(zhì)譜|電化學|元素分析|水分測定儀|樣品前處理|試驗機|培養(yǎng)箱


化工儀器網(wǎng)>技術(shù)中心>其他文章>正文

歡迎聯(lián)系我

有什么可以幫您? 在線咨詢

激光指向穩(wěn)定在光刻系統(tǒng)應(yīng)用中的關(guān)鍵作用,及其優(yōu)化方案!

來源:上海昊量光電設(shè)備有限公司   2024年05月14日 11:48  

激光指向穩(wěn)定在光刻系統(tǒng)應(yīng)用中的關(guān)鍵作用,及其優(yōu)化方案!


光刻是半導(dǎo)體制造工藝中的核心之一,極紫外光刻技術(shù)作為新一代光刻技術(shù)也處于快速發(fā)展階段。其基本原理是利用光致抗蝕劑(或稱光刻膠)感光后因光化學反應(yīng)而形成耐蝕性的特點,將掩模板上的圖形刻制到被加工表面上。光刻半導(dǎo)體芯片二氧化硅的主要步驟包括涂布光致抗蝕劑、套準掩模板并曝光、用顯影液溶解未感光的光致抗蝕劑層、用腐蝕液溶解掉無光致抗蝕劑保護的二氧化硅層,以及去除已感光的光致抗蝕劑層。



在光刻系統(tǒng)中,激光的指向穩(wěn)定非常重要,會直接影響光刻的圖形準確性和一致性。影響光束指向穩(wěn)定的主要因素有三個,分別是激光器本身的位置偏移,處于不同基座上的激光器和照明系統(tǒng)之間的振動差異性以及傳輸過程中的光學系統(tǒng)的擾動。這些擾動會對光刻的質(zhì)量造成嚴重影響。


首先,激光指向的穩(wěn)定性對于確保圖形的精確刻蝕至關(guān)重要。在光刻過程中,激光束需要精確地照射到硅片上的特定區(qū)域,以實現(xiàn)圖形的準確轉(zhuǎn)移。如果激光指向不穩(wěn)定,會導(dǎo)致圖形位置偏移、尺寸變化等問題,嚴重影響產(chǎn)品的質(zhì)量和性能。


其次,激光指向的穩(wěn)定性還關(guān)系到光刻的重復(fù)性和一致性。在半導(dǎo)體制造中,往往需要對大量的硅片進行光刻處理,這就要求光刻過程具有高度的可重復(fù)性和一致性。如果激光指向不穩(wěn)定,每次光刻的結(jié)果都會有所差異,導(dǎo)致產(chǎn)品批次間的性能不一致,增加了制造難度和成本。


因此,激光指向的穩(wěn)定性在不斷提升的精度要求下顯得尤為重要。




我們可以通過減小振動和降低溫度變化等方式實現(xiàn)光束的相對穩(wěn)定,但這只是一種被動的補償方式,而且無法規(guī)避這些干擾。對此,可以通過一套主動的補償系統(tǒng),當光束發(fā)生偏移之后通過調(diào)整光路將其轉(zhuǎn)向回來,對環(huán)境的要求就顯得沒有那么苛刻。


來自TEM公司的光束指向穩(wěn)定系統(tǒng)可以實現(xiàn)上述功能。該系統(tǒng)由兩個快速反射鏡(FSM),一個位置探測器(PSD)和一個控制機箱組成。FSM的偏轉(zhuǎn)通過將電動馬達和壓電陶瓷進行結(jié)合,可以同時保證了快速反射鏡的大量程和高精度,配合高分辨率的位置探測器(PSD),系統(tǒng)總精度可達到亞微米量級。除此之外,響應(yīng)時間對于需要激光束實時穩(wěn)定的系統(tǒng)而言也是至關(guān)重要的,you秀的算法可以將其限制在0.2ms范圍,閉環(huán)帶寬超過5KHZ。



下圖為光束探測及其穩(wěn)定系統(tǒng)示意圖。激光經(jīng)過兩個快反鏡R1和R2之后入射到分束鏡BS1上,其中透射光用于后續(xù)的實驗和正常使用,少量反射光將進入PSD中,用于光束探測。PSD是一種基于半導(dǎo)體PN結(jié)橫向光電響應(yīng)的光電器件,根據(jù)入射光斑的質(zhì)心輸出電壓,兩個PSD分別用于檢測光束的位置偏移和角度偏移,控制器檢測到偏移信息后經(jīng)過算法將反饋信息給到FSM,控制FSM的旋轉(zhuǎn),實現(xiàn)對主光束的指向糾偏。



下圖為使用該系統(tǒng)前后的光斑位置偏移情況,可以明顯看到在該系統(tǒng)工作之前光斑的位置是不穩(wěn)定的,有較大偏移;而在系統(tǒng)開始工作之后,光斑位置基本被控制在原點附近,位置穩(wěn)定性顯著提高。



上海昊量光電作為德國TEM的指向穩(wěn)定系統(tǒng)產(chǎn)品在中國大陸唯yi擁有成熟使用經(jīng)驗,完整技術(shù)支持的du家授權(quán)代理商,可以為您提供更好的使用體驗,讓您的產(chǎn)品在手中可以發(fā)揮出*的性能。



歡迎繼續(xù)關(guān)注上海昊量光電的各大媒體平臺,我們將不定期推出各種產(chǎn)品介紹與技術(shù)新聞。



關(guān)于昊量光電:

上海昊量光電設(shè)備有限公司是光電產(chǎn)品專業(yè)代理商,產(chǎn)品包括各類激光器、光電調(diào)制器、光學測量設(shè)備、光學元件等,涉及應(yīng)用涵蓋了材料加工、光通訊、生物醫(yī)療、科學研究、國防、量子光學、生物顯微、物聯(lián)傳感、激光制造等;可為客戶提供完整的設(shè)備安裝,培訓(xùn),硬件開發(fā),軟件開發(fā),系統(tǒng)集成等服務(wù)。

免責聲明

  • 凡本網(wǎng)注明“來源:化工儀器網(wǎng)”的所有作品,均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡(luò)有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品,未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的,應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使用,并注明“來源:化工儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者,本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責任。
  • 本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來源(非化工儀器網(wǎng))的作品,目的在于傳遞更多信息,并不代表本網(wǎng)贊同其觀點和對其真實性負責,不承擔此類作品侵權(quán)行為的直接責任及連帶責任。其他媒體、網(wǎng)站或個人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時,必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來源,并自負版權(quán)等法律責任。
  • 如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)等問題,請在作品發(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系,否則視為放棄相關(guān)權(quán)利。
企業(yè)未開通此功能
詳詢客服 : 0571-87858618