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Sensofar共聚焦白光干涉仪|测量原理

增强型光学测量技术

Sensofar共聚焦白光干涉仪虽然一开始作为高性能 3D 光学轮廓仪设计，但是我们的某些系统所有现有的光学轮廓仪，集所有技术于一身。

Sensofar共聚焦白光干涉仪条纹投影非常适合大面积测量，垂直 精度和可重复性高，系统噪声低。

产品阵容

技术组合

我们的Sensofar共聚焦白光仪系统采用不同光学测量技术进行工作，一部分系统采用组合技术。聚集这些技术的优点，外加技术和操作软件，成就市场上竞争力的高级测量设备。

为何使用四合一技术？

采用 Sensofar 的四合一法 – 正如 S neox 系统那样 – 在软件中单击一次就可将系统切换到适合当前任务的技术

S neox 传感器头采用 4 种测量技术 – Ai 多焦面叠加、共聚焦、干涉 & 光谱反射 – 因此每种技术都是实现系统通用性的重要因素，有利于减少数据采集时不希望发生的缺陷，同时提供 Sensofar 的表面测量性能。

技术

微显示是关键!

Sensofar共聚焦白光干涉仪的系统采用微显示扫描技术。

微显示以硅基铁电体液晶 (FLCoS) 技术为基础，打造没有运动零件的快速切换装置，

使共聚焦图像扫描快速、可靠、精确。微显示器结合高分辨率扫描台和可更换物镜，

构成了一套灵活的光学系统。