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陶瓷材料是指用天然或合成化合物經過成形和高溫燒結制成的一類無機非金屬材料。氧化鋁陶瓷主要組成物為Al?O?，一般含量大于45%。氧化鋁陶瓷具有各種優良的性能。用途廣泛，可用作坩堝、發動機火花塞、高溫耐火材料、熱電偶套管、密封環等，也可作刀具和模具。但在利用透射電鏡觀察氧化鋁陶瓷的晶粒形貌時，陶瓷的脆性和硬度給制樣帶來了一定的困難，而離子減薄對比機械減薄、超薄切片等方法可以有效避免樣品破碎，因此本文采用離子減薄儀對氧化鋁陶瓷進行透射電鏡制樣。
本文使用了鼎竑離子減薄儀GU-AI9000對氧化鋁陶瓷進行減薄。
電壓：7kv
電流：0.4mA
減薄時間：2.5h
設定灰度值：235
破孔值：6
樣品與離子槍角度：12°
將直徑約10 mm的氧化鋁陶瓷片使用機械沖鉆成3 mm直徑的圓片，過程中盡量穩定防止破碎，后使用不同的砂紙和拋光布進行機械研磨拋光，使其減薄至20 µm。氧化鋁陶瓷片經過機械減薄后的示意圖如圖1。
圖1 機械減薄后示意圖
陶瓷片經過減薄后的低倍電鏡圖，如圖2。
圖2 陶瓷片低倍電鏡圖
經過觀察，陶瓷片穿孔區域周圍存在小于200納米的薄區可以被透射電鏡電子束穿透觀察。
減薄后的陶瓷片高倍透射電鏡圖，如圖3
圖3 陶瓷片高倍透射電鏡圖
圖片可以清晰觀察氧化鋁陶瓷片的晶粒形貌，襯度明顯，可以說明陶瓷片減薄成功。
本文利用鼎竑離子減薄儀GU-AI9000對氧化鋁陶瓷進行了減薄。該儀器可以高質量完成對氧化鋁陶瓷片的減薄，使其擁有足夠的薄區上透射電鏡拍攝，滿足對氧化鋁陶瓷減薄的要求。同時該方法參數也可對其他材料樣品減薄提供參考。
鼎竑GU-AI9000具有無磁聚集離子源、破孔自動終止等技術優勢，可滿足電鏡制樣前處理需求，是透射電鏡的專用制樣設備。如果您對我們的產品感興趣，可掃描下方二維碼添加客服，歡迎前來咨詢溝通。
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