背景介紹

上海市某半導(dǎo)體廠，專注于研發(fā)和制造專業(yè)應(yīng)用的晶圓。晶圓生產(chǎn)工藝復(fù)雜，其中蝕刻工序使用氫氟酸溶液進行蝕刻、并用高純水清洗，在這個工序中產(chǎn)生了大量的高濃度含氟廢水，含氟廢水經(jīng)過加藥、混凝沉淀處理后達標(biāo)排放。

該半導(dǎo)體廠在總排口處安裝了一臺FBM-160 氟離子濃度分析儀。根據(jù)國標(biāo)《污水綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB8978-1996）以及上海市環(huán)境保護局發(fā)布的地方標(biāo)準(zhǔn)《半導(dǎo)體行業(yè)污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》（DB31），該半導(dǎo)體廠執(zhí)行三級標(biāo)準(zhǔn)，其總排口的氟限值為 20mg/L。

氟離子濃度分析儀的現(xiàn)場圖如下圖所示，控制器采用管式安裝，電極采用浸入式安裝。

應(yīng)用情況

FBM-160 氟離子濃度分析儀采用氟離子選擇電極法，監(jiān)測方法符合國標(biāo) GB7484-1987。氟離子濃度分析儀結(jié)構(gòu)簡單，氟離子電極現(xiàn)場采用浸入式安裝，在無選配自動清洗組件的前提下，每月人工清洗一次電極，三個月校準(zhǔn)一次電極。在正常維護條件下，每年更換一次氟離子電極。現(xiàn)場安裝方便，維護較簡單，測量值均低于 20 mg/L，和實驗室比對數(shù)據(jù)良好，符合用戶的測量要求。

總結(jié)

FBM-160 氟離子濃度分析儀采用國標(biāo)方法監(jiān)測——氟離子選擇電極法，不消耗試劑，可更換電極頭，減少維護費用；安裝簡單，可在現(xiàn)場采用浸入池中安裝，也可以在排口采用流通式安裝。可選配自清洗組件，減少用戶的人工清洗工作；具備多個量程,0~99.9 mg/L；0~999 mg/L或0~9990 mg/L，滿足含氟廢水進排口的不同測量范圍需求。

FBM-160 氟離子濃度分析儀廣泛應(yīng)用于電子行業(yè)的含氟廢水監(jiān)測，在正常維護下，能夠滿足用戶廢水總排口的測量需求。