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X射線熒光光譜儀采用根據X射線熒光分析原理新設計的硬件以及配備豐富軟件數據處理裝置，全自動進行分析數據的管理，非常適合工程管理、研究使用。可同時分析36種元素，再加上單道掃描型分光器可同時處理48種元素，實現了傳統X射線熒光裝置難以做到的數ppm級的高靈敏度、高精度分析。可快速獲得分析結果，經數據處理后，可進行質量檢驗、規格判斷等，應用于生產管理分析（特別是爐前分析）。
X射線熒光是原子內產生變化所致的現象。一個穩定的原子結構由原子核及核外電子組成。其核外電子都以各自特有的能量在各自的固定軌道上運行，內層電子（如K層）在足夠能量的X射線照射下脫離原子的束縛，釋放出來，電子的逐放會導致該電子殼層出現相應的電子空位。這時處于高能量電子殼層的電子（如：L層）會躍遷到該低能量電子殼層來填補相應的電子空位。由于不同電子殼層之間存在著能量差距，這些能量上的差以二次X射線的形式釋放出來，不同的元素所釋放出來的二次X射線具有特定的能量特性。這一個過程就是我們所說的X 射線熒光(XRF) 。
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