1. 遠心光學系統

大多數測量顯微鏡采用遠心光學器件進行透射照明。不使用遠心光學系統的顯微鏡會使附近的物體顯得更大而遠處的物體顯得更小。

這種現象與我們日常使用的相機是一樣的。然而，這一特性意味著在測量尺寸時，距離較遠的零件會比高度方向不同的零件測量得更小。

對于使用遠心光學系統的鏡頭，即使到鏡頭的距離或焦點在光軸方向上移動，圖像的尺寸也不會改變，即使它變得模糊。對于在用顯微鏡觀察的同時測量尺寸的尺寸測量顯微鏡來說，遠心光學系統是 的。

2.測量顯微鏡的平行對準

測量顯微鏡通過將物體放置在 XY 平臺上來測量物體。因此，測量點可以位于 XY 平臺操作范圍內的任何位置。換句話說，無論待測物體位于XY平臺上的哪個位置，您只需將XY平臺移動到測量點即可進行測量。

有些待測量的角度和圓直徑可能需要 XY 平臺的較大移動，但如果不進行特殊調整，待測物體的輪廓永遠不會與 XY 平臺的移動平行。因此，在測量前，需要使XY平臺的移動與被測物體的參考邊緣平行。

另外，如果被測物體與XY平臺不平行，在測量角度和平行度時會出現較大誤差。因此，需要進行計算來修正測量結果。近年來，制造商推出了一系列測量設備，可以在 XY 平臺上創建坐標系，并根據原點和測量點的坐標進行計算。通過使用它，可以減少平行對準步驟的數量。

3. 測量顯微鏡的視場

對于顯微鏡來說，能夠以大的放大倍率觀察物體很重要，但能夠立即獲得寬廣的視野也很重要。使用顯微鏡一次可以看到的面積稱為視場，視場由目鏡的直徑決定。

視場的大小稱為視場數，實際視場表示被測物體表面有多少部分在視場內可見。實際視場角與鏡頭倍率的關系如下。

實際視場=目鏡視場數/物鏡放大倍數

從上式可以看出，如果目鏡視場數相同，隨著物鏡放大倍數的增大，實際視場范圍會變窄。這說明增加物鏡的放大倍數以放大待測物體與一次能看到的范圍之間存在一種權衡。

要增加視野，必須增加目鏡的直徑或減小物鏡的放大倍數。然而，由于測量需要放大倍數，因此物鏡的放大倍數可以減小多少是有限度的。因此，測量顯微鏡配備了 XY 載物臺和顯示移動量的計數器，并配備了測量不適合視野的區域的裝置。