氧氣濃度檢測(cè)儀在半導(dǎo)體制造過程中的重要性

來源：秋山科技（東莞）有限公司 2024年12月18日 10:07

氧氣濃度檢測(cè)儀在半導(dǎo)體制造過程中的重要性

半導(dǎo)體行業(yè)是一個(gè)全球性的巨大行業(yè)，每年都在持續(xù)增長(zhǎng)，這意味著對(duì)高純度氣體的需求將隨之增長(zhǎng)。

擁有可靠的高純度氣體供應(yīng)對(duì)于半導(dǎo)體制造至關(guān)重要，尤其是在智能手機(jī)和自動(dòng)駕駛汽車等先進(jìn)技術(shù)方面。

生產(chǎn)集成電路的過程很復(fù)雜，在所有階段都需要 30 多種不同的氣體，這使得使用的氣體范圍成為任何行業(yè)中廣泛的氣體之一。

氣體是半導(dǎo)體制造的重要組成部分，因?yàn)闅怏w可以產(chǎn)生塑造半導(dǎo)體電氣特性所需的化學(xué)反應(yīng)。由于其復(fù)雜性，在制造過程的每個(gè)階段使用的氣體都需要精確和準(zhǔn)確，以正確配置半導(dǎo)體。

如您所知，氧氣是一種氧化劑，因此它對(duì)于產(chǎn)生沉積反應(yīng)至關(guān)重要。它用于生長(zhǎng)用于工藝中各種元素的氧化硅層，例如擴(kuò)散掩模。

當(dāng)使用氧氣進(jìn)行半導(dǎo)體制造時(shí)，氣體必須是超高純度的，以防止任何雜質(zhì)影響器件的生產(chǎn)和性能。

在蝕刻過程中，氧氣也用于去除產(chǎn)生的任何額外材料廢料。它也可以用來使任何蝕刻圖案。

最后，氧氣還有助于通過可能改變產(chǎn)品質(zhì)量的氧化反應(yīng)中和反應(yīng)性氣體。因此，與氮?dú)忸愃?，氧氣也有助于確保不會(huì)發(fā)生任何污染。

檢測(cè)部分采用穩(wěn)定氧化鋯陶瓷的便攜式氧氣計(jì)。這是一個(gè)集成傳感器、控制單元、流量計(jì)、泵和過濾器。

模型	EZY-1-G	EZY-1-R	EZY-1-B	EZY-2-G	EZY-2-R	EZY-2-B
顏色	綠色的	紅色的	藍(lán)色的	綠色的	紅色的	藍(lán)色的
類型	無采樣泵			帶采樣泵
原則	氧化鋯陶瓷電化學(xué)電池
作品	SS盒、TB傳感器、C-301控制單元、帶針閥的流量計(jì)等。
測(cè)量范圍	1ppm～100% O2
展示	%: 0~99.99%O2 ppm : 0~ 9999ppmO2
輸出	4~20mADC（隔離） 0~1VDC、0~5VDC、0~10VDC（隔離，選其一） RS-232C 繼電器接點(diǎn)：3點(diǎn)（A接點(diǎn)），集電極開路輸出：2點(diǎn)（以下可任意分配）濃度報(bào)警：Hi/Lo、HHi/Hi 或 Lo/LLo（LCD 顯示）傳感器異常（故障）報(bào)警：加熱器、RTD斷線（LCD顯示）預(yù)熱完成信號(hào) 范圍回復(fù)
接點(diǎn)輸入	遠(yuǎn)程校準(zhǔn)變送輸出（電壓/電流）保持遠(yuǎn)程量程切換
量程切換	自動(dòng)/手動(dòng)/遠(yuǎn)程
初始設(shè)置	0~25.00%O2 / 0~ 9999ppmO2
樣本吸取	樣品壓配合			內(nèi)置泵抽吸
樣品壓力	高達(dá) 2 個(gè)大氣壓
漂移線性重復(fù)性響應(yīng)速度管道連接樣品流速樣品溫度預(yù)熱時(shí)間電源配件	±2%FS 以內(nèi)/周 ±1%FS 或 ±1ppm 以內(nèi)，以較大者為準(zhǔn) 在 ±1%FS 或 ±1ppm 以內(nèi)，以較大者為準(zhǔn) 10秒內(nèi)90%響應(yīng)（如果向高濃度側(cè)擺動(dòng)） RC1/4 0.2～2L/分鐘最高60℃ 約20分鐘免費(fèi)電源（85-260VAC）電源線3m

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