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集团的核心业务是光刻解决方案和晶圆片键合。光刻部门主要负责生产高精度光刻设备，其重点业务是光刻机、旋涂机和喷胶机。键合部门专注于生产大规模封装市场用键合机，同时也提供手动设备。光掩模设备部门提供一系列用于光掩模和压印掩模工艺的设备及解决方案。 此外还提供一些专用配件，如纳米压印光刻组件、光学透镜等。
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