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1984 BenBeneq Group 的控股公司包括 Beneq Oy，它是使用原子层沉积进行工业生产的先驱;以及显示技术的创新者Lumineq Oy。Beneq 和 Lumineq 均由 Beneq 集团全资拥有。eq Group 的控股公司包括 Beneq Oy，它是使用原子层沉积进行工业生产的先驱;以及显示技术的创新者Lumineq Oy。Beneq 和 Lumineq 均由 Beneq 集团全资拥有。年，我们开Beneq 是原子层沉积的发源地。1984 年，我们建立了一个使用 ALD 的工业生产。今天，我们以研发（TFS 200，TFS 500，R2），半导体设备制造（TransformTM系列）、3D 和批量生产（P400A、P800、P1500）、超快空间原子层沉积 （C2R） 和卷对卷原子层沉积 （Genesis）。