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HMI（Hermes Microvision）是一家专注于电子束检测工具的公司，主要为半导体制造厂提供服务。该公司在2016年被荷兰光刻设备制造商ASML收购，交易金额约为27.5亿美元。此次收购使ASML进入了新的市场领域，包括晶圆检查和掩模检测。HMI成立于美国硅谷，由陈仲玮博士创立，专注于研发和生产全自动、超高速低能扫描电子显微镜系统，用于检测世jie先进半导体晶圆。其产品线包括eScan系列、ePTM系列和eXplore系列，适用于各种研发和生产应用。例如，HERMES MICROVISION/HMI eScan 405是一款具有多种功能的高速、准确可靠的自动掩模和晶片检测设备。此外，HMI还推出了e-beam pattern fidelity metrology系统（ePfm5），这是其与ASML合作的结果，并于2017年开始发货。这种系统的推出进一步增强了ASML在整体光刻产品组合中的竞争力。总体而言，HMI作为一家领xian的电子束检测工具供应商，在被ASML收购后，继续发挥其在半导体行业中的重要作用，并通过与ASML的合作进一步扩展其技术和服务范围。