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CETR-Apex Bruker微納壓痕測試儀CETR-Apex

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公司自成立以來就一直專注于半導體、微組裝和電子裝配等領域的設備集成和技術服務;目前公司擁有一支在半導體制造、微組裝及電子裝配等領域經驗豐富的專業技術團隊,專業服務于混合電路、光電模塊、MEMS、先進封裝(TSV、Fan-out等)、化合物半導體、微波器件、功率器件、紅外探測、聲波器件、集成電路、分立器件、微納等領域。我們不僅能為客戶提供整套性能可靠的設備,還能根據客戶的實際生產需求制訂可行的工藝技術方案。
目前亞科電子已與眾多微電子封裝和半導體制造設備企業建立了良好的合作關系(如:BRUKER、EVG、TRYMAX、CAMTEK、CENTROTHERM、SENTECH、ENGIS、ADT、SONOSCAN、ASYMTEK、MARCH、PANASONIC、HYBOND、OKI、KEKO等),為向客戶提供先進的設備和專業的技術服務打下了堅實基礎。

 

半導體設備,微組裝設備,LTCC設備,化工檢測設備

布魯克的摩擦測試設備,居于世界ling  dao者地位,成為摩擦學和機械性能測試的標桿,能在各種環境條件下執行多重檢測,獲取納米級、微米級以及宏觀尺度上材料的摩擦和機械性能數據。目前,全球有上千臺設備成功安裝并投入使用,進行材料基本性能的測試,尤其在薄膜研究以及工業生產的質量監控方面。

 

應用

微納壓痕劃痕測試儀CETR-Apex,是一款多功能微米、納米機械性能測試平臺。性能,操作簡易。納米壓頭用來測量超薄涂層尤其是納米級涂層以及塊體材料的厚度、硬度、楊氏模量等。微米壓頭用于較厚涂層和塊體材料的硬度、楊氏模量等機械性能測量。納米、微米級摩擦學壓頭用于薄膜、涂層以及塊體材料的摩擦磨損測量、靜態/動態摩擦學測量、耐用度、附著力,粘滑性等機械性能測量。微納壓痕測試儀廣泛應用于以下領域:

 

  • 薄膜:
    • CVD、PVD涂層
    • 太陽能電池薄膜、MEMS、燃料電池
    • 光學組件
    • 玻璃窗

 

  • 半導體:
    • 低K材料
    • 導體連線
    • 鈍化層

 

  • 防磨損涂層
    • TiN、TiC、DLC、WC
    • 切割材料
  • 汽車和航天材料:
    • 涂層和中間層
    • 汽車和飛機門窗
    • 引擎組件
    • 其他:剎車制動器、軸承、活塞襯墊等的性能測試

 

  • 鏡頭:光學涂層
  • 磁盤:
    • 盤片和磁頭外涂層
    • DLC涂層

 

  • 生物醫藥學:
    • 植入體和組織
    • 片劑和藥丸

 

 

特征:

  1. CETR-Apex三個測量探頭
  • 左側:機械性能測試,可以簡便更換納米、微米壓頭;
  • 中部:顯微鏡,多達4個不同放大倍數的物鏡,隨意切換;
  • 右側:掃描成像,AFM和三維光學輪廓儀隨意切換。

 

  1. 六種機械壓頭
  • 納米壓痕壓頭
  • 納米劃痕壓頭
  • 微米壓痕壓頭
  • 微米劃痕壓頭
  • 毫米劃痕壓頭
  • 納米、微米級摩擦學壓頭
  1. 可供選擇的模塊與軟件
  • 原位成像模塊
  • 摩擦學測試&機械性能測試分析軟件

 

  1. ASTM/DIN/ISO的標準認證---Apex適用于 多重認證標準:
  • ASTM E2546 納米壓痕檢測標準
  • ISO 14577 儀器壓痕硬度檢測
  • ASTM C1624 陶瓷涂層的附著力和機械性能實效檢測
  • ASTM G171 材料化劃痕硬度檢測
  • ASTM E384   材料微米尺度的壓痕硬度檢測

 



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