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薄膜生长设备

• 原子层沉积设备
• 化学气相沉积设备
• 外延系统
• 物理气相沉积设备
• 其它薄膜沉积设备

工艺测量和检测设备

• 四探针测试仪
• 薄膜应力测试仪
• 晶圆缺陷光学检测设备
• 光刻套刻测量设备
• 晶圆缺陷电子束检测设备
• 光学薄膜测量设备
• 关键尺寸测量设备
• 热波系统
• 其它晶圆缺陷检测设备

集成电路测试与分选设备

• 芯片分选机
• 信号测试系统/半导体测试机
• 探针台
• 探针卡

光刻及涂胶显影设备

• 无掩模光刻机/直写光刻机
• 匀胶机
• 电子束曝光机
• 涂胶显影设备
• 有掩模光刻机
• 纳米压印设备
• 去胶机

热工艺设备/热处理设备

• 退火炉
• 氧化扩散设备

硅片制备/晶体生长设备

• 单晶炉
• 晶圆切片机
• 倒角机
• 磨片机
• 滚磨机
• 晶圆研磨机

掩模版和中间掩模版制造设备

• 掩模检查设备
• 掩模修补系统
• 掩模制造设备
• 分步重复系统/精缩机
• 掩模光刻胶处理及清洗设备
• 掩模版保护膜安装仪器
• 掩模复印机/翻版机

离子注入设备

• 离子注入机

干法工艺设备

• 等离子体刻蚀设备
• 干法清洗设备

湿法工艺设备

• 化学机械抛光机(CMP)
• 湿法清洗设备
• 无应力抛光机
• 湿法腐蚀/刻蚀设备
• 电镀设备
• 其它湿法工艺设备

组装与封装设备

• 划片机
• 芯片开封机
• AOI光学自动检测设备
• 打标机
• 塑封机
• 颗粒度检测仪
• 倒装机
• 银浆固化设备
• 键合机
• 红外对准仪
• 切筋成型设备
• 植球机
• 焊线机
• 减薄机
• 贴片机/粘片机
• MEMS圆片自动测试系统
• 丝网印刷机

其它半导体行业仪器设备

• ECV设备
• 少子寿命测试仪
• 分子束外延(MBE)
• 半导体行业专用软件
• 其它半导体设备